У точному ланцюжку виробництва напівпровідників система перенесення пластин є своєрідною «рятівною ланкою лінії виробництва мікросхем», а її стабільність і точність безпосередньо визначають коефіцієнт виходу мікросхем. Нове покоління систем перенесення пластин революційно поєднує лінійні двигуни з гранітними основами, а унікальні переваги гранітних матеріалів є саме тим ключовим фактором для забезпечення високопродуктивної передачі.
Гранітна основа: створення «міцного фундаменту» для стабільної передачі
Граніт, який пройшов сотні мільйонів років геологічного вдосконалення, характеризується щільною та рівномірною внутрішньою мінеральною кристалізацією. Ця природна характеристика робить його ідеальним базовим матеріалом для систем перенесення пластин. У складному середовищі чистих приміщень для напівпровідників граніт, завдяки своєму наднизькому коефіцієнту теплового розширення (лише 5-7 ×10⁻⁶/℃), може протистояти теплу, що утворюється під час роботи обладнання, та впливу змін температури навколишнього середовища, забезпечуючи стабільність розміру основи та уникаючи відхилення шляху передачі, спричиненого тепловою деформацією. Його видатні характеристики гасіння вібрацій дозволяють швидко поглинати механічні вібрації, що виникають під час запуску, зупинки та розгону лінійних двигунів, а також зовнішні перешкоди, що виникають внаслідок роботи іншого обладнання в цеху, забезпечуючи стабільну платформу з "нульовим трясінням" для передачі пластин.
Тим часом, хімічна стабільність граніту гарантує, що він не піддається корозії та іржавінню в напівпровідникових цехах, де кислотні та лужні реагенти є леткими та потрібна висока чистота, що дозволяє уникнути впливу на точність передачі через старіння матеріалу або адсорбцію забруднюючих речовин. Гладкі та щільні характеристики поверхні можуть ефективніше зменшити адгезію пилу, відповідаючи суворим стандартам чистих приміщень без пилу та усуваючи ризик забруднення пластини з кореня.
Ефект «золотого партнерства» лінійних двигунів та граніту
Лінійні двигуни, завдяки своїм характеристикам відсутності механічного зазору в передачі, високому прискоренню та високій швидкості відгуку, забезпечують передачу пластини такими перевагами, як «швидка, точність та стабільність». Гранітна основа забезпечує міцну та надійну опорну платформу. Ці два елементи працюють разом, щоб досягти значного підвищення продуктивності. Коли лінійний двигун приводить у рух носій пластини по рейці гранітної основи, висока жорсткість та стабільність основи забезпечують ефективну передачу рушійної сили двигуна, уникаючи втрати сили або затримки передачі, спричиненої деформацією основи.
Завдяки вимогам до нанорозмірної точності, лінійні двигуни можуть досягати контролю переміщення на субмікронному рівні. Високоточні характеристики обробки гранітних основ (з похибками площинності, контрольованими в межах ±1 мкм) ідеально відповідають точному керуванню лінійними двигунами, разом гарантуючи, що похибка позиціонування під час передачі пластини становить менше ±5 мкм. Чи то швидкісне переміщення між різним технологічним обладнанням, чи точне паркування для передачі пластини, поєднання лінійних двигунів та гранітних основ може забезпечити «нульове відхилення та нульове коливання» під час передачі пластини.
Перевірка галузевої практики: Подвійне підвищення ефективності та коефіцієнта прибутковості
Після модернізації своєї системи передачі пластин, провідне світове підприємство з виробництва напівпровідників застосувало рішення на основі лінійного двигуна та гранітної основи, що підвищило ефективність передачі пластин на 40%, зменшило частоту виникнення несправностей, таких як зіткнення та зміщення під час процесу передачі, на 85% та покращило загальний вихід чіпів на 6%. За цими даними стоїть гарантія стабільності передачі, що забезпечується гранітною основою, та високошвидкісний і точний синергетичний ефект лінійного двигуна, що значно зменшує втрати та похибки в процесі передачі пластин.
Від властивостей матеріалів до точного виготовлення, від переваг у продуктивності до практичної перевірки, поєднання лінійних двигунів та гранітних основ переосмислило стандарти систем перенесення пластин. У майбутньому, коли напівпровідникові технології розвиватимуться в напрямку 3-нм та 2-нм процесів, гранітні матеріали, безсумнівно, продовжуватимуть надавати потужний поштовх розвитку галузі завдяки своїм незамінним перевагам.
Час публікації: 14 травня 2025 р.