Оскільки напівпровідникова промисловість агресивно прагне впроваджувати технологічні вузли з технологією менше 2 нм, допустима механічна похибка практично зникла. У цьому середовищі з високими ставками стабільність технологічної камери більше не є другорядною проблемою; вона є основним вузьким місцем для досягнення продуктивності. У ZHHIMG ми спостерігаємо фундаментальний зсув у тому, як світові виробники оригінального обладнання (OEM) підходять до структурної цілісності капітального обладнання для напівпровідників.
Фізика тиші: передові методи гасіння вібрацій
У сучасному виробництві пластин вібрації, які колись вважалися «фоновим шумом», тепер є катастрофічними. Чи то мікроколивання від системи опалення, вентиляції та кондиціонування повітря на об'єкті, чи то внутрішня інерція високошвидкісного сканувального столу, неконтрольована енергія безпосередньо призводить до помилок накладання та розмитих візерунків.
Сучасні методи гасіння вібрацій у виробництві напівпровідників еволюціонували в багатошарову архітектуру. Хоча пасивне демпфування — використання високоякісних матеріалів, таких як мінеральне лиття або прецизійний граніт — залишається основою, ми спостерігаємо сплеск інтеграції активного демпфування.
Активні системи використовують п'єзоелектричні актуатори та датчики реального часу для «скасування» коливань шляхом генерації зустрічних частот. Однак ефективність активних систем за своєю суттю обмежена коефіцієнтом демпфування основного матеріалу. Саме тут досвід ZHHIMG у високодемпфуючих конструкційних матеріалах стає критично важливим. Поєднуючи активну електроніку з природно інертною гранітною або композитною основою, ми забезпечуємо «тиху зону», де нанопозиціонування може відбуватися без перешкод.
Зростання руху без тертя: технологія повітряних підшипників
Потреба у вищій пропускній здатності довів традиційні механічні підшипники до їхніх меж. Тертя призводить до нагрівання, а нагрівання призводить до теплового розширення — ворога точності. Це призвело до широкого впровадження...технологія повітряних підшипників для прецизійних сцен.
Повітряні підшипники підтримують навантаження на тонку плівку стисненого повітря, зазвичай товщиною лише кілька мікронів. Оскільки немає фізичного контакту, статичне тертя (прилипання) нульове. Це дозволяє:
-
Рух без гістерезису: забезпечення повернення предметного столу до точно такої ж нанометрової координати щоразу.
-
Сталість швидкості: критично важлива для сканування, таких як контроль електронного променя, де навіть найменше «зубчасте вібрація» механічного підшипника спотворює зображення.
-
Надзвичайна довговічність: оскільки немає деталей, що торкаються один одного, немає зносу та утворення твердих частинок, що робить їх ідеальними для чистих приміщень класу 1.
У ZHHIMG ми виготовляємо надплоскі гранітні поверхні, які служать напрямними для цих повітряних підшипників. Для правильного функціонування ці поверхні повинні бути відшліфовані до площинності, що вимірюється частками довжини хвилі світла.
Тенденції в напівпровідниковому капітальному обладнанні: 2026 рік і далі
У міру того, як ми рухаємося до 2026 року,тенденції в напівпровідниковому капітальному обладнанніхарактеризуються «Трьома стовпами»: Модулярність, Сталий розвиток та Термоконтроль.
-
Модульна конструкція платформи: виробники оригінального обладнання (OEM) шукають базові модулі типу «підключи та працюй». Замість того, щоб розробляти нову основу для кожного інструменту, вони використовують стандартизовані прецизійні основи ZHHIMG, які можна адаптувати для літографії, метрології або травлення.
-
Термічний контроль: Оскільки джерела ультрафіолетового випромінювання (EUV) генерують величезне тепло, основа машини повинна виступати в ролі масивного радіатора. Ми інтегруємо складні канали охолодження безпосередньо в наші мінеральні та гранітні компоненти, щоб підтримувати дельту $<0,01^\circ\text{C}$.
-
Сумісність з вакуумом: Оскільки все більше процесів переходять у середовища з високим вакуумом, використовувані матеріали повинні мати нульове виділення газів. Наша спеціалізована обробка граніту та кераміки гарантує, що цілісність вакууму ніколи не буде порушена конструкційним фундаментом.
Стратегічне партнерство з ZHHIMG
ZHHIMG — це не просто виробник компонентів; ми є стратегічним партнером у ланцюжку поставок систем керування рухом. Наш завод у Китаї тісно співпрацює з інженерними командами в Кремнієвій долині та Ейндховені, щоб вирішувати найскладніші проблеми стабільності в галузі.
Використовуючи наші запатентовані методи притирання та глибоке розумінняметоди гасіння вібрацій, ми дозволяємо нашим клієнтам розширити межі закону Мура. Незалежно від того, чи розробляєте ви інструмент ALD (атомно-шарове осадження) наступного покоління, чи високошвидкісний зонд для пластин, фундамент починається з ZHHIMG.
Висновок
Еволюція виробництва напівпровідників – це гонка проти законів фізики. У міру того, як галузь рухається до 2026 року, увага до точності повітряних підшипників та вдосконаленого демпфування лише посилюватиметься. Щоб випереджати ці тенденції, потрібен фундамент – як буквально, так і переносно – побудований на досвіді та інноваціях.
Час публікації: 26 січня 2026 р.