Напівпровідникова промисловість працює з масштабами точності, які розширюють межі людської винахідливості. В основі контролю якості в цій галузі — останнього, критичного кроку перед тим, як чіп вважається готовим до продажу — лежить, здавалося б, простий матеріал: граніт. Зокрема, прецизійні гранітні платформи є найкращим рішенням для перевірки напівпровідникових чіпів, що може здивувати тих, хто не є фахівцем у цій галузі. У ZHONGHUI Group (ZHHIMG®) ми глибоко розуміємо цей взаємозв'язок. Наш досвід у створенні надвисокоточних гранітних компонентів та вимірювальних інструментів зробив нас ключовим партнером для деяких провідних світових компаній у галузі напівпровідників та метрології. Залежність від граніту для цього критичного застосування — це не питання традиції, а чистої фізики та інженерії. Йдеться про задоволення низки унікальних та вимогливих вимог, які жоден інший матеріал не може задовольнити так ефективно.
Непохитний попит на стабільність
Інспекція напівпровідникових мікросхем — це не просто перевірка на наявність дефектів, а й перевірка того, що мікроскопічні особливості, які часто вимірюються в нанометрах, ідеально сформовані. Цей процес передбачає використання складного обладнання, такого як оптичні системи контролю (AOI) та промислові комп'ютерні томографи, які повинні залишатися ідеально стабільними під час сканування. Будь-яка вібрація, теплове розширення або структурний дрейф можуть призвести до помилок, що призведе до хибнопозитивних результатів або, що ще гірше, до пропущених дефектів.
Саме тут граніт сяє. На відміну від металу, який значно розширюється та стискається при зміні температури, граніт має неймовірно низький коефіцієнт теплового розширення. Наш чорний граніт ZHHIMG® має щільність приблизно 3100 кг/м3, що забезпечує виняткову термостабільність. Це означає, що гранітна платформа зберігатиме свою форму та площинність навіть у середовищах з незначними коливаннями температури навколишнього середовища. У кліматично контрольованій майстерні, такій як наша площею 10 000 м2, де температура підтримується з військовою точністю, стійкість граніту не має собі рівних.
Крім того, надзвичайні демпфуючі властивості граніту є надзвичайно важливими. Він природним чином поглинає та розсіює механічні коливання, запобігаючи їх передачі на чутливе контрольне обладнання. На завантаженому виробничому підприємстві, заповненому машинами, це гасіння вібрацій є критично важливим для підтримки цілісності вимірювань. Наші майстерні спроектовані з урахуванням цього, маючи надтовсті бетонні підлоги та антивібраційні траншеї, щоб створити середовище, в якому наші майстри можуть досягти нанометрової точності у своїй роботі.
Прагнення до абсолютної площинності
Щоб система контролю чіпів працювала, її основа має бути якомога ближчою до ідеально плоскої. Поняття «плоскої поверхні» в цьому контексті є не візуальним, а математичним, вимірюється за допомогою таких інструментів, як лазерні інтерферометри Renishaw та швейцарські електронні рівні Wyler. Мета інспектора чіпів — виміряти площинність чіпа з точністю до кількох мікронів або навіть нанометрів. Для цього сама платформа повинна бути на порядок плоскішою.
Граніт – це матеріал, який завдяки нашим спеціалізованим методам ручного притирання можна відшліфувати до практично неперевершеного рівня площинності. Наші майстри, багато з яких мають понад 30 років досвіду, володіють тактильним чуттям, яке дозволяє їм «відчувати» відхилення площинності всього в кілька мікронів. Цей людський дотик у поєднанні з нашим обладнанням світового класу дозволяє нам виготовляти гранітні пластини з нанометровою площинністю, що робить їх ідеальною опорною площиною для калібрування та контролю. Це основа, на якій будується точний контроль напівпровідників.
Вирішення унікальних вимог напівпровідникової промисловості
Напівпровідникова промисловість також має специфічні потреби, окрім стабільності та площинності. Наприклад, багато систем контролю використовують повітряні підшипники для руху без тертя. Граніт є чудовим середовищем для напрямних для повітряних підшипників завдяки своїй жорсткості та пористості, що забезпечує дрібний, рівномірний потік повітря. Наші гранітні повітряні підшипники виготовляються на замовлення для забезпечення плавного та точного руху, що є важливим для високошвидкісного та високоточного контролю.
Крім того, наш чорний граніт ZHHIMG® не має магнітних властивостей та не проводить струм, що є вирішальним для чутливих електронних компонентів. Він не створює перешкод для електромагнітних полів випробувального обладнання або самого чіпа. Ця нейтральність – це характеристика, яку багато металевих платформ просто не можуть запропонувати.
У ZHHIMG® ми не просто продаємо граніт. Ми забезпечуємо критично важливу основу для найпередовіших технологій у світі. Наше зобов'язання перед клієнтами полягає в тому, щоб надавати рішення, які не обманюють, не приховують та не вводять в оману. Ми тісно співпрацюємо з нашими партнерами, включаючи таких гігантів, як Samsung, та метрологічні установи, щоб гарантувати, що наші продукти не лише відповідають їхнім специфікаціям, але й сприяють розвитку їхніх технологій. У грі з високими ставками у виробництві напівпровідників, прецизійні гранітні платформи ZHHIMG® є безшумною, нерухомою силою, що забезпечує стабільність і точність, які втілюють у життя інновації майбутнього.
Час публікації: 28 вересня 2025 р.