У вирішальній битві «наноточності» у виробництві напівпровідників навіть найменша помилка в обладнанні для різання пластин може перетворити чіп на відходи. Гранітна основа — це невідомий герой, який контролює точність повторюваного позиціонування ±5 мкм, переписуючи правила прецизійного виробництва з його трьома природними дивами.
«Стабілізуючий якір» проти теплової деформації: коефіцієнт теплового розширення граніту становить лише 5-7 ×10⁻⁶/℃, що становить лише третину від коефіцієнта теплового розширення металевих матеріалів. Під впливом тепла, що виникає внаслідок високошвидкісної роботи обладнання для різання пластин, звичайні матеріали деформуються через теплове розширення та стиснення, що призводить до зміщення положення ріжучої головки. Однак гранітна основа може залишатися «нерухомою», що принципово усуває відхилення позиціонування, спричинене тепловою деформацією, та закладає міцну основу для точності.
«Тихий щит» поглинання вібрацій: Постійний рев верстатів та безперервна вібрація обладнання в цеху можна вважати «фатальними вбивцями» для точності. Унікальна кристалічна структура граніту подібна до природного амортизатора, здатного швидко перетворювати зовнішні вібрації та механічні коливання, що виникають під час роботи обладнання, на теплову енергію для розсіювання. У той час як інші основи все ще «гойдаються» через вібрацію, гранітна основа створила стабільну платформу для ріжучої головки, яка залишається нерухомою, що забезпечує точність ±5 мкм.
Корозійностійка «Вічна фортеця»: Напівпровідникові цехи заповнені агресивними речовинами, такими як травильні розчини та кислотні й лужні очищувачі. У такому середовищі металеві основи поступово іржавіють та деформуються. Граніт, завдяки своїй хімічній стабільності, взагалі не реагує з цими хімічними речовинами. Незалежно від того, скільки років він використовується, він може зберігати структурну цілісність та постійно забезпечувати високоточне різання.
Від талановитого матеріалу до надточної обробки, гранітна основа своєю міцністю продемонструвала, що не всі матеріали можуть задовольнити суворі вимоги виробництва напівпровідників. Саме завдяки цим незамінним природним перевагам гранітні основи стали ключовими для обладнання для різання пластин, що дозволяє досягти точності повторюваного позиціонування ±5 мкм, і ще більше спонукають напівпровідникову промисловість постійно рухатися до вищої точності!
Час публікації: 14 травня 2025 р.