Матеріал – кераміка

♦Оксид алюмінію (Al2О3)

Прецизійні керамічні деталі, що виробляються ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), можуть бути виготовлені з високочистої керамічної сировини, 92~97% глинозему, 99,5% глинозему, >99,9% глинозему, та холодного ізостатичного пресування CIP. Високотемпературне спікання та прецизійна обробка, точність розмірів ± 0,001 мм, гладкість до Ra0,1, температура використання до 1600 градусів. Різні кольори кераміки можуть бути виготовлені відповідно до вимог замовника, такі як: чорний, білий, бежевий, темно-червоний тощо. Прецизійні керамічні деталі, що виробляються нашою компанією, стійкі до високих температур, корозії, зносу та ізоляції, і можуть використовуватися протягом тривалого часу в умовах високих температур, вакууму та агресивного газового середовища.

Широко використовується в різноманітному обладнанні для виробництва напівпровідників: рами (керамічний кронштейн), підкладка (основа), важіль/міст (маніпулятор), механічні компоненти та керамічний повітряний підшипник.

AL2O3

Назва продукту Високочиста 99 глиноземна керамічна квадратна труба / труба / стрижень
Індекс Одиниця 85% Al2O3 95% Al2O3 99% Al2O3 99,5% Al2O3
Щільність г/см3 3.3 3.65 3.8 3.9
Поглинання води % <0,1 <0,1 0 0
Температура спеченого 1620 рік 1650 рік 1800 рік 1800 рік
Твердість Моос 7 9 9 9
Міцність на вигин (20℃) МПа 200 300 340 360
Міцність на стиск кгс/см² 10000 25000 30000 30000
Тривала робоча температура 1350 1400 1600 1650 рік
Макс. робоча температура 1450 1600 1800 рік 1800 рік
Об'ємний питомий опір 20℃ Ом·см³ >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

Застосування високочистої глиноземної кераміки:
1. Застосовується для напівпровідникового обладнання: керамічний вакуумний патрон, ріжучий диск, очисний диск, керамічний ПАТРОН.
2. Деталі для перенесення пластин: патрони для обробки пластин, диски для різання пластин, диски для очищення пластин, присоски для оптичного контролю пластин.
3. Індустрія плоских світлодіодних/РК-дисплеїв: керамічна насадка, керамічний шліфувальний диск, ПІДЙОМНИЙ ШТИФТ, ШТИФТ-рейка.
4. Оптичний зв'язок, сонячна промисловість: керамічні трубки, керамічні стрижні, керамічні скребки для трафаретного друку на друкованих платах.
5. Термостійкі та електроізолюючі деталі: керамічні підшипники.
Наразі кераміку на основі оксиду алюмінію можна розділити на високочисту та звичайну кераміку. Серія високочистої кераміки на основі оксиду алюмінію відноситься до керамічного матеріалу, що містить понад 99,9% Al₂O₃. Завдяки температурі спікання до 1650-1990°C та довжині хвилі пропускання 1 ~ 6 мкм, її зазвичай переробляють у плавлене скло замість платинового тигля, який можна використовувати як натрієві трубки завдяки коефіцієнту пропускання світла та корозійній стійкості до лужних металів. В електронній промисловості її можна використовувати як високочастотний ізоляційний матеріал для підкладок інтегральних схем. Залежно від вмісту оксиду алюмінію, серію звичайної кераміки на основі оксиду алюмінію можна розділити на 99 кераміку, 95 кераміку, 90 кераміку та 85 кераміку. Іноді кераміку з 80% або 75% оксиду алюмінію також класифікують як серію звичайної кераміки на основі оксиду алюмінію. Серед них керамічний матеріал на основі оксиду алюмінію 99 використовується для виробництва високотемпературних тиглів, вогнестійких труб для печей та спеціальних зносостійких матеріалів, таких як керамічні підшипники, керамічні ущільнення та клапанні пластини. Алюмінієва кераміка 95 в основному використовується як корозійностійка зносостійка деталь. Кераміка 85 часто змішується з іншими властивостями, тим самим покращуючи електричні характеристики та механічну міцність. Вона може використовувати молібденові, ніобієві, танталові та інші металеві ущільнення, а деякі використовуються як електровакуумні пристрої.

 

Якісний товар (репрезентативна вартість) Назва продукту AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 АЛ-31-03
Хімічний склад Продукт з низьким вмістом натрію, що легко спікається H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Лол % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Середній діаметр частинок (MT-3300, метод лазерного аналізу) мкм 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
Розмір кристала α мкм 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Щільність формування** г/см³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Густина спікання** г/см³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Швидкість усадки лінії спікання** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO не враховується при розрахунку чистоти Al₂O₃.
* Порошок без окалини 29,4 МПа (300 кг/см²), температура спікання 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Додайте 0,05 ~ 0,1% MgO, спіканість чудова, тому його можна застосовувати для кераміки на основі оксиду алюмінію з чистотою понад 99%.
AES-22S: Характеризується високою щільністю формування та низькою швидкістю усадки лінії спікання, застосовується для лиття у шлікерні форми та інших великогабаритних виробів з необхідною точністю розмірів.
AES-23 / AES-31-03: Має вищу щільність формування, тиксотропію та нижчу в'язкість, ніж AES-22S. Перший використовується для кераміки, тоді як другий – як водознижувач для вогнезахисних матеріалів, що набуває популярності.

♦Характеристики карбіду кремнію (SiC)

Загальні характеристики Чистота основних компонентів (мас.%) 97
Колір Чорний
Густина (г/см³) 3.1
Поглинання води (%) 0
Механічні характеристики Міцність на згин (МПа) 400
Модуль Юнга (ГПа) 400
Твердість за Віккерсом (ГПа) 20
Теплові характеристики Максимальна робоча температура (°C) 1600
Коефіцієнт теплового розширення Кімнатна температура ~ 500°C 3.9
(1/°C x 10-6) Кімнатна температура ~800°C 4.3
Теплопровідність (Вт/м x K) 130 110
Термостійкість ΔT (°C) 300
Електричні характеристики Об'ємний опір 25°C 3 х 106
300°C -
500°C -
800°C -
Діелектрична проникність 10 ГГц -
Діелектричні втрати (x 10-4) -
Коефіцієнт добротності (x 104) -
Напруга пробою діелектрика (кВ/мм) -

20200507170353_55726

♦Керамічний нітрид кремнію

Матеріал Одиниця Si₃N₄
Метод спікання - Спечений під тиском газу
Щільність г/см³ 3.22
Колір - Темно-сірий
Коефіцієнт поглинання води % 0
Модуль Юнга Середній бал 290
Твердість за Віккерсом Середній бал 18 - 20
Міцність на стиск МПа 2200
Міцність на згин МПа 650
Теплопровідність Вт/мК 25
Стійкість до теплових ударів Δ (°C) 450 - 650
Максимальна робоча температура °C 1200
Об'ємний питомий опір Ом·см > 10 ^ 14
Діелектрична проникність - 8.2
Електрична міцність кВ/мм 16