Підтримка точності гранітної платформи, як еталонного інструменту для точного вимірювання та обробки, безпосередньо впливає на якість продукції. Нижче наведено систематичний план технічного обслуговування, що охоплює контроль навколишнього середовища, щоденне технічне обслуговування та професійне калібрування, щоб забезпечити тривалу підтримку точності платформи нанометрового рівня.
1. Контроль навколишнього середовища: створення прецизійного захисного бар'єру
Управління температурою та вологістю
Температуру робочого середовища необхідно стабілізувати на рівні 20±1℃. Кожне коливання на 1℃ призведе до теплової деформації гранітної платформи на 0,5-1 мкм/м. У майстерні можна встановити систему постійної температури, щоб запобігти прямому обдуву платформи кондиціонерами.
Вологість слід контролювати в межах від 40% до 60%. Надмірна вологість може легко спричинити іржу на металевих деталях, тоді як занадто низька вологість може призвести до статичної електрики, яка перешкоджає вимірюванню.
Віброізоляція
Платформу слід тримати подалі від джерел вібрації, таких як штампувальні та фрезерні верстати. Рекомендується дотримуватися відстані понад 3 метри від вібраційного обладнання.
Якщо вібрації неможливо уникнути, внизу платформи можна встановити пневматичні амортизатори, щоб зменшити вплив вібрації навколишнього середовища на площинність платформи (що може зменшити зовнішню вібрацію більш ніж на 80%).
2. Щоденне обслуговування: ретельний контроль від очищення до захисту
Специфікація очищення поверхні
Видалення пилу: Протирайте поверхню оленячою шкірою або тканиною без ворсу в одному напрямку щодня, щоб запобігти подряпинам платформи частинками пилу (≥5 мкм). Стійкі плями можна обережно протерти безводним етанолом (чистота ≥99,7%). Не можна використовувати сильні розчинники, такі як ацетон.
Знежирення: Якщо на поверхню потрапили масляні плями, протріть її розведеним нейтральним засобом для чищення, потім промийте деіонізованою водою та висушіть на повітрі, щоб запобігти проникненню мінеральної олії в крихітні пори платформи.
Захист від вантажу та зіткнень
Вантажопідйомність платформи повинна контролюватися в межах 70% від номінального навантаження (наприклад, для платформи вагою 1000 кг рекомендується, щоб навантаження було ≤700 кг), щоб уникнути залишкової деформації, спричиненої локальним перевантаженням.
Суворо забороняється вдаряти заготовки об платформу. Під час роботи з інструментами використовуйте м’які рукавички, щоб запобігти подряпинам поверхні гострими предметами (подряпини глибиною понад 20 мкм вплинуть на вимірювання шляху відбитого світла).
3. Професійне калібрування: основа наукового забезпечення точності
Налаштування циклу калібрування
Звичайні сценарії використання: калібрування раз на квартал та використання лазерного інтерферометра для виявлення площинності (з точністю ±0,5 мкм/м).
Високочастотне використання або суворі умови: щомісячне калібрування з акцентом на моніторинг температурно-чутливих зон (таких як край платформи поблизу джерел тепла).
Обробка після калібрування
Якщо виявлено відхилення площинності (наприклад, > ±1 мкм/м), його необхідно відшліфувати та відремонтувати професійним техніком, використовуючи мікропорошок W1.5. Самостійне шліфування наждачним папером суворо заборонено.
Після калібрування дані слід записувати та архівувати, а також слід створити криву затухання точності платформи, щоб заздалегідь передбачити потреби в технічному обслуговуванні.
4. Зберігання та транспортування: Уникайте прихованих втрат точності
Ключові моменти для тривалого зберігання
Під час зберігання його слід накрити волого- та пилонепроникним чохлом. Дно повинно бути підперте трьома точками (точка опори розташована на 2/9 довжини платформи), щоб запобігти деформації вигину, спричиненій силою тяжіння (платформа довжиною 1 метр може прогинатися на 0,3 мкм через тривале одноточкове опирання).
Регулярно (щомісяця) змінюйте положення точок опори платформи, щоб уникнути тривалого локального тиску.
План захисту транспорту
Перевезення на короткі відстані: обмотайте амортизуючою піною, закріпіть у жорсткій рамі та підтримуйте прискорення в межах 2g.
Транспортування на далекі відстані: його необхідно вакуумно упаковати та заповнити сухим азотом. Після прибуття його слід залишити на 24 години, поки температура не досягне рівноваги, перш ніж розпакувати, щоб запобігти впливу конденсаційної води на точність.
5. Прогнозування несправностей: методи виявлення ранніх проблем
Візуальний огляд: Регулярно оглядайте поверхню за допомогою лупи з 40-кратним збільшенням. Якщо виявлено суцільні подряпини або значне зменшення блиску, це може свідчити про зниження точності.
Виявлення звуку: Обережно постукайте по платформі. Якщо звук стає хрипким (зазвичай це має бути чистий звук), всередині можуть бути мікротріщини. Негайно припиніть використання для виявлення.
Завдяки цій системі обслуговування гранітна платформа ZHHIMG® може підтримувати площинність ±1 мкм/м протягом 10 років, що більш ніж утричі довше, ніж термін служби платформ, які не обслуговуються належним чином. Практика довела, що після того, як певний завод з виробництва напівпровідників впровадив це рішення, частота калібрування платформи зменшилася на 50%, а щорічні витрати на обслуговування зекономлено понад 150 000 юанів.
Час публікації: 18 червня 2025 р.