Чи може керамічна лінійка бути відсутньою ланкою у вашому процесі контролю субмікронних розмірів?

У світі високоточного виробництва, де допуски зменшуються нижче 5 мікронів, а обробка поверхні наближається до оптичної якості, інструменти, на які ми покладаємося, повинні вийти за рамки традицій. Протягом десятиліть сталь і граніт панували на метрологічних лавах. Але оскільки такі галузі, як напівпровідникове обладнання, аерокосмічна оптика та медичні мікроприлади, виходять у сфери, де навіть тепловий дрейф або мікроскопічний знос призводять до неприйнятної похибки, з'являється новий клас еталонних інструментів: ті, що виготовлені не з металу чи каменю, а з передової технічної кераміки.

У ZHHIMG ми вийшли за рамки простого пропонуванняКерамічна пряма лінійкаабо керамічні квадратні лінійки. Ми переосмислюємо те, що може бути лінійкою, поєднуючи надстабільні керамічні матеріали з передовим дизайном, включаючи нашу новаторську керамічну лінійку з повітряною плаваючою поверхнею, рішення, яке повністю виключає механічний контакт, забезпечуючи повторюваність на нанометровому рівні.

Чому саме кераміка? Відповідь починається на молекулярному рівні. На відміну від сталі, яка значно розширюється з підвищенням температури, або граніту, який, незважаючи на свою стабільність, залишається пористим і неоднорідним, інженерна кераміка, така як загартований оксид алюмінію цирконієм (ZTA) та нітрид кремнію, пропонує майже нульову пористість, виняткову твердість (1400–1800 HV) та коефіцієнти теплового розширення до 3–4 мкм/м·°C. Це означає, що керамічна пряма лезо від ZHHIMG зберігає свою геометрію при перепадах температури, які спотворили б звичайні інструменти на кілька мікронів.

Але самого матеріалу недостатньо. Що справді відрізняє наші керамічні лінійки, так це точність їхнього виготовлення. Використовуючи алмазне шліфування, полірування під апертурою та лазерну інтерферометричну перевірку в чистих приміщеннях класу ISO 5, ми досягаємо допусків прямолінійності кращими за 0,8 мкм на відстані 500 мм, що підтверджується не лише при доставці, але й документується у повних звітах про калібрування, що відповідають стандартам NIST та PTB. КоженКерамічна квадратна лінійкапроходить перевірку перпендикулярності за допомогою електронної автоколімації, що гарантує утримання кутів з точністю до 1 кутової секунди (відхилення ≈0,5 мкм на відстані 100 мм).

Це не теоретичні характеристики. Це операційні реалії для клієнтів, які більше не можуть дозволити собі компромісів. Провідний постачальник компонентів для літографії EUV тепер використовує нашу керамічну пряму лінійку виключно для вирівнювання рамок дзеркал. «Сталеві лінійки деформувалися під час тривалих циклів експозиції», – сказав нам їхній провідний метролог. «Граніт накопичував частинки. Керамічна версія? Вона стабільна протягом 18 місяців – повторне калібрування не потрібне».

Однак навіть ідеальна геометрія може бути порушена контактом. Проводьте лінійкою по поверхні, і ви ризикуєте отримати мікроподряпини, перешкоди масляній плівкі або пружну деформацію, особливо на м’яких металах або полірованій оптиці. Саме тут інновації ZHHIMG роблять крок вперед з використанням керамічної лінійки з повітряною плаваючою поверхнею Custom.

Це не просто керамічна лінійка з просвердленими в ній отворами. Це повністю спроектована аеростатична система, розроблена з використанням обчислювальної гідродинаміки для забезпечення рівномірного ламінарного потоку повітря по всій довжині лінійки. При подачі чистого сухого повітря (або азоту в чутливих середовищах) лінійка піднімається на 5–10 мікронів над заготовкою, усуваючи фізичний контакт, зберігаючи при цьому ідеальне вирівнювання. Результат? Справжнє безконтактне вимірювання для перевірки площинності, прямолінійності або висоти сходинки з повторюваністю до ±0,2 мкм.

Одна лабораторія квантових обчислень у Швейцарії тепер використовує 600-міліметрову керамічну лінійку з повітряною вібрацією для перевірки надпровідних носіїв мікросхем. «Будь-який контакт, навіть із м’яким стилусом, створює напругу, яка змінює продуктивність кубіта», – пояснив їхній інженер-технолог. «Керамічна лінійка з повітряною вібрацією дає нам необхідний орієнтир, не торкаючись деталі. Вона стала критично важливою».

точні вимірювальні прилади

Це стало можливим завдяки унікальному поєднанню ZHHIMG у галузі матеріалознавства, прецизійної обробки та метрології. У той час як багато постачальників розглядають кераміку як структурні компоненти, ми оптимізуємо її як артефакти вимірювання. Наші керамічні квадратні лінійки мають скошені краї для запобігання відколам, матову задню частину для зменшення відблисків під інспекційним освітленням та додаткові опорні маркери для автоматизованих систем зору. Для використання в чистих приміщеннях поверхні поліруються до Ra < 0,02 мкм, щоб мінімізувати адгезію частинок.

І оскільки кожне застосування відрізняється, ми не віримо в універсальний підхід. Потрібна керамічна пряма кромка з вбудованими вакуумними каналами для утримання тонких пластин під час перевірки? Ми її створили. Потрібна...квадратна лінійказ наскрізними отворами, вирівняними з кінчиком зонда вашої КВМ? Готово. Бажаєте спеціальну керамічну лінійку з вбудованими датчиками тиску та цифровим зворотним зв'язком щодо нівелювання? Вона вже проходить бета-тестування з клієнтом першого рівня в аерокосмічній галузі.

За цим послідувало визнання в галузі. У Глобальному огляді передової метрології за 2025 рік ZHHIMG була названа єдиною компанією, яка пропонує повний асортимент сертифікованих керамічних еталонних інструментів, включаючи плаваючі варіанти, з повною геометричною валідацією та цифровою простежуваністю. Але що ще важливіше, впровадження прискорюється: понад 60% наших замовлень на керамічні лінійки тепер надходять з галузей, які раніше вважали такі інструменти «надмірними», поки не виміряли різницю.

Стартап медичного обладнання, що виробляє нейронні імплантати, перейшов зі сталі на нашу керамічну квадратну лінійку та побачив, що їхня продуктивність при першому проході зросла на 22%. «Стара квадратна лінійка залишала мікроподряпини на титанових корпусах», – сказав їхній менеджер з контролю якості. «Ми навіть не усвідомлювали цього, доки не перейшли на неї. Тепер кожна деталь проходить візуальну та розмірну перевірку з першої спроби».

Тож, оцінюючи своє наступне оновлення метрологічних знань, запитайте себе: чи моя поточна лінійка додає невизначеності, чи усуває її?

Якщо ваш процес працює на межі виявлення, відповідь може критися в кераміці — не як новинці, а як необхідності. У ZHHIMG ми виробляємо не просто керамічні прямі лінійки, керамічні косинці або керамічні лінійки з прямим краєм. Ми впроваджуємо впевненість у кожен мікрон.


Час публікації: 31 грудня 2025 р.