У сферах прецизійного виробництва та наукових досліджень площинність гранітних прецизійних платформ є ключовим показником для забезпечення точності обладнання. Нижче наведено детальний огляд кількох основних методів виявлення та процедур їхньої роботи.
I. Метод детектування за допомогою лазерного інтерферометра
Лазерний інтерферометр є кращим інструментом для високоточної детекції площинності. Візьмемо, наприклад, лазерний інтерферометр ZYGO GPI XP, його роздільна здатність може досягати 0,1 нм. Під час проведення детекції спочатку вирівнюють джерело світла інтерферометра з платформою та розділяють поверхню платформи на області сітки 50 мм × 50 мм. Згодом дані інтерференційних смуг збираються по точці, а дані підганяються та аналізуються за допомогою полінома Церніке для отримання похибки площинності. Цей метод застосовується до високоточних платформ і може виявляти похибки площинності ≤0,5 мкм/м². Він зазвичай використовується для детекції фотолітографічних машин та високоякісних платформ трикоординатних вимірювальних машин.
II. Метод електронної нівелірної матриці
Електронний рівень для виявлення на основі рівня простий в експлуатації та високоефективний. Був обраний електронний рівень TESA A2 (з роздільною здатністю 0,01 мкм/м) та розміщений у масиві 9×9 вздовж напрямку осі X/Y платформи. Синхронно збираючи дані про нахил кожного рівня та використовуючи метод найменших квадратів для розрахунку, можна точно отримати значення площинності. Цей метод може ефективно визначити локальні умови увігнутості та опуклості платформи. Наприклад, також можна виявити коливання 0,2 мкм у діапазоні 50 мм, що підходить для швидкого виявлення у масовому виробництві.
Iii. Метод оптичних плоских кристалів
Метод оптичного плоского кристала підходить для виявлення платформ невеликої площі. Щільно прикріпіть оптичний плоский кристал до поверхні, що тестується, на платформі та спостерігайте за інтерференційними смугами, що утворюються між ними, під освітленням монохроматичним джерелом світла (наприклад, натрієвою лампою). Якщо смуги є паралельними прямими смугами, це свідчить про добру площинність. Якщо з'являються криволінійні смуги, обчисліть похибку площинності на основі ступеня кривизни смуги. Кожна криволінійна смуга представляє різницю висот 0,316 мкм, а дані про площинність можна отримати шляхом простого перетворення.
4. Метод контролю за допомогою трикоординатної вимірювальної машини
Трикоординатна вимірювальна машина може досягати високоточних вимірювань у тривимірному просторі. Розмістіть гранітну платформу на робочому столі вимірювальної машини та використовуйте зонд для рівномірного збору даних з кількох точок вимірювання на поверхні платформи. Система вимірювальної машини обробляє та аналізує ці дані, щоб створити звіт про площинність платформи. Цей метод може не тільки виявляти площинність, але й одночасно отримувати інші геометричні параметри платформи, і підходить для комплексного виявлення великих гранітних платформ.
Оволодіння цими методами виявлення може допомогти вам точно оцінити площинність прецизійної гранітної платформи та забезпечити надійну гарантію стабільної роботи прецизійного обладнання.
Час публікації: 29 травня 2025 р.