У сфері високоякісного виробництва та передових наукових досліджень, надточний модуль руху повітряного поплавця став ключовим обладнанням для точної роботи та вимірювання завдяки своїм чудовим точним характеристикам. Гранітна прецизійна основа, як опорне ядро, має суворі вимоги до робочого середовища, а відповідні умови навколишнього середовища є основою для забезпечення його стабільної роботи та найкращого ефекту.
По-перше, контроль температури: прецизійний «стабілізатор»
Хоча граніт відомий своєю стабільністю, він не повністю стійкий до змін температури. Хоча його коефіцієнт теплового розширення низький, зазвичай 5-7 ×10⁻⁶/℃, у сценаріях надточної системи керування рухом незначні коливання температури все ж можуть спричинити зміни розмірів та вплинути на точність модуля. У цеху виробництва напівпровідникових мікросхем процес літографії вимагає точності позиціонування на рівні данамі, а температура навколишнього середовища коливається на 1 °C, і гранітна основа з довжиною сторони 1 метр може призвести до лінійного розширення або стиснення на 5-7 мікрон. Ця невелика зміна передається надточним модулем руху повітряного поплавця, чого достатньо, щоб викликати відхилення малюнка літографії мікросхеми та значно зменшити вихід продукції. Таким чином, оснащений гранітною прецизійною основою повітряно-плавучого надточного модуля руху, ідеальна температура робочого середовища повинна контролюватися на рівні 20°C ±1°C за допомогою високоточних пристроїв для постійної температури, таких як система кондиціонування повітря з постійною температурою та вологістю, безперервно контролюючи та регулюючи температуру навколишнього середовища, щоб забезпечити коливання температури в дуже малому діапазоні, підтримувати стабільність розміру основи та забезпечити високоточну роботу модуля.
По-друге, управління вологістю: ключ до вологостійкого захисту "каменю"
Вологість повітря є ще одним важливим фактором, що впливає на продуктивність прецизійної гранітної основи. У середовищі з високою вологістю граніт легко поглинає водяну пару, що може призвести до конденсації на поверхні. Це не тільки впливає на стабільність з'єднання граніту та надточного модуля руху повітряного поплавця, але й може спричинити ерозію поверхні та знизити блиск і точність у довгостроковій перспективі. У цеху шліфування оптичних лінз, якщо вологість протягом тривалого часу перевищує 60% відносної вологості, водяна пара, адсорбована на поверхні гранітної основи, перешкоджатиме руху повзуна газового поплавця, що призведе до зниження точності шліфування лінз та появи дефектів на поверхні. Тому відносну вологість робочого середовища слід суворо контролювати в межах 40%-60% відносної вологості, що можна контролювати та регулювати в режимі реального часу шляхом встановлення осушувачів повітря, датчиків вологості та іншого обладнання, щоб уникнути пошкодження гранітної основи через високу вологість та забезпечити безперебійну роботу надточного модуля руху повітряного поплавця.
По-третє, гарантія чистоти: «охоронець» точності
Не можна недооцінювати шкоду, яку частинки пилу завдають прецизійній гранітній основі надточного рухомого модуля повітряної флотації. Як тільки крихітні частинки потрапляють у зазор газової плівки між повзуном газового поплавця та гранітною основою, вони можуть порушити однорідність газової плівки, збільшити тертя та навіть подряпати поверхню основи, що призводить до зниження точності руху. У цеху надточної обробки аерокосмічних деталей, якщо частинки пилу з повітря потрапляють на гранітну основу, траєкторія руху обробного інструменту може відхилитися, що вплине на точність обробки деталей. Тому робочу зону слід підтримувати в високій чистоті, досягаючи рівня чистоти 10 000 або навіть вище, шляхом встановлення обладнання для очищення повітря, такого як високоефективні повітряні фільтри (HEPA), які фільтрують частинки пилу в повітрі, водночас персонал повинен носити захисний одяг, бахіли тощо, щоб зменшити кількість пилу, що вноситься людиною. Підтримуйте високу точність робочого середовища гранітної основи та надточного рухомого модуля повітряного поплавця.
По-четверте, віброізоляція: плавна робота "амортизаційної подушки"
Зовнішня вібрація є ворогом точності надточної модуля руху пневматичного поплавця. Хоча прецизійна гранітна основа має певну здатність до гасіння вібрацій, високоміцна вібрація все ж може порушити її буферний ліміт. Вібрація, що генерується рухом транспорту навколо заводу та роботою великого механічного обладнання, передається на гранітну основу через землю, що перешкоджатиме точності руху надточної модуля руху пневматичного поплавця. У високоякісних КВМ вібрація може призвести до нестабільності контакту між вимірювальним зондом та заготовкою, що вимірювається, що призведе до відхилення даних вимірювань. Щоб вирішити цю проблему, необхідно вжити ефективних заходів віброізоляції, таких як укладання віброізоляційних прокладок у зоні встановлення обладнання, будівництво віброізоляційного фундаменту або використання активної системи віброізоляції для активного компенсації зовнішньої вібрації та створення тихого та стабільного робочого середовища для гранітної точної основи та надточної модуля руху пневматичного поплавця.
Тільки повністю дотримуючись екологічних вимог щодо температури, вологості, чистоти та контролю вібрації, гранітна прецизійна основа надточного модуля руху повітряного поплавця може повною мірою реалізувати свої переваги в продуктивності, забезпечити надійну гарантію надточних операцій у різних галузях та допомогти галузі перейти на вищий рівень точного виробництва та наукових досліджень.
Час публікації: 08 квітня 2025 р.