У галузі нарізання канавок на напівпровідникових пластинах точність – це рятівний круг. Непримітна гранітна основа може призвести до якісного стрибка в продуктивності обладнання для нарізання канавок! Які ж «суперсили» вона насправді приховує? Чому кажуть, що вибір правильної гранітної основи означає, що ви досягли успіху наполовину? Сьогодні ми розповімо вам про це детально!
I. Вроджена міцність: три «вроджені переваги» граніту
Сейсмостійкість така ж стабільна, як і гора Тай.
Граніт має щільність 2800-3100 кг/м³, а його структура щільна, як «кам'яна фортеця». У середовищі високочастотної вібрації під час нарізання канавок на пластині (обладнання нарізає канавки понад 100 разів на хвилину) він може поглинати понад 90% енергії вібрації, подібно до оснащення обладнання «амортизуючою чорною технологією»! Виміряні дані з одного заводу з виробництва мікросхем показують, що після використання гранітної основи амплітуда коливань головки фрези для нарізання канавок зменшилася з 15 мкм до 3 мкм, а краї вирізаних мікроканавок стали гладкими, як дзеркало.
2. «Термостійка конституція» Не боїться перепадів температур
Звичайні матеріали «розширюються та деформуються» при нагріванні та «стискаються та деформуються» при охолодженні, але коефіцієнт теплового розширення граніту становить лише 4-8×10⁻⁶/℃, що становить лише 1/5 від коефіцієнта теплового розширення металів! Навіть якщо температура в цеху різко коливається на 10℃ протягом 24 годин, його деформація становить менше 0,01 мм і її можна майже знехтувати. Це означає, що незалежно від зміни дня та ночі чи тривалої роботи та виділення тепла обладнанням, гранітна основа може постійно утримувати положення паза «нерухомим».
3. Незнищенна зносостійкість
Твердість граніту за шкалою Мооса сягає 6-7 балів, що порівнянно з кварцом, а його зносостійкість утричі перевищує звичайну сталь! Під впливом тривалого високочастотного тертя, що виникає при нарізанні канавок на пластині, поверхня основи майже не зношується. Після п'яти років використання гранітних основ на одному ливарному заводі, площинність під час перевірки все ще підтримувалася в межах ±0,5 мкм/м, а точність нарізання канавок залишалася незмінною, що значно заощадило витрати на калібрування та заміну обладнання.
II. Точна адаптація: як граніт відповідає різним вимогам до обробки канавок?
Сцена 1: Надзвичайно тонке нарізання канавок (мікроканавки менше 10 мкм)
Вимога: Гранична площинність
Переваги граніту: Завдяки високоточній обробці з п'ятиосьовим з'єднанням, площинність можна контролювати в межах ±0,5 мкм/м, що означає, що на довжині 1 метр похибка висоти в 200 разів менша за людську волосину! Забезпечте, щоб відстань між головкою різця для канавок та пластиною завжди була точною, а похибка ширини вирізаних мікроканавок не перевищувала ±0,1 мкм.
Сцена 2: Високошвидкісне масове виробництво канавок
Вимога: Супер амортизація
Переваги граніту: Його природні демпфувальні властивості всередині можуть швидко пом'якшувати вібрацію обладнання. Після того, як певний завод з виробництва панелей впровадив гранітні основи, швидкість обробки канавок зросла на 40%, а коефіцієнт виходу продукції підскочив з 85% до 96%, що дозволило досягти подвійного збільшення ефективності виробництва та якості!
Сценарій 3: Нарізання канавок у складних умовах (висока температура/корозія)
Вимоги: Стійкість до високих температур та корозійної стійкості
Переваги граніту: Надзвичайно висока хімічна стійкість, стійкість до кислотної та лугової корозії; низький коефіцієнт теплового розширення та не деформується навіть за місцевої високої температури (150℃) під час лазерного нарізання канавок. Гранітна основа, що використовувалася в певній лабораторії з корозійним розчином для нарізання канавок, безперервно використовувалася протягом трьох років, і поверхня основи залишилася неушкодженою.
Iii. Як вибрати «справжню високоякісну» гранітну основу?
Зверніть увагу на щільність: граніт з щільністю ≥2800 кг/м³ має більш компактну структуру.
Перевірте сертифікати: переконайтеся, що ви визнаєте авторитетні сертифікати, такі як ISO 9001 та CNAS, щоб гарантувати якість.
Дані перевірки: Виробник повинен надати звіти про випробування коефіцієнта теплового розширення (< 8×10⁻⁶/℃) та площинності (±0,5 мкм/м).
Перевірка на місці: постукайте по основі. Чіткий звук свідчить про відсутність тріщин всередині. Якщо поверхня дотику гладенька, як дзеркало, це свідчить про високу точність обробки.
Висновок: Оберіть правильний граніт і виграйте півбитви у нарізанні канавок!
Від ударостійкості та термостійкості до зносостійкості, гранітна основа, з її «природною красою» та «надійною міцністю», стала золотим партнером для обладнання для нарізання канавок на пластинах. В сучасну епоху виробництва напівпровідників, яке прагне нанорозмірної точності, високоякісна гранітна основа — це не лише інвестиція в обладнання, але й довгострокова гарантія ефективності виробництва та якості продукції!
Час публікації: 17 червня 2025 р.