У світі виробництва напівпровідників, неруйнівний контроль пластин є ключовою ланкою для забезпечення якості мікросхем. Здавалося б, незначна гранітна основа насправді є «невідомим героєм», який визначає точність виявлення. Як же вона впливає на результати випробувань? У цій статті буде проведено поглиблений аналіз з таких аспектів, як властивості матеріалів та структурна конструкція.
1. Стабільний фундамент: Природні переваги граніту закладають міцну основу для точності
1. Відмінні сейсмічні характеристики
Під час роботи обладнання для неруйнівного контролю пластин обертання двигуна та рух механічних компонентів генеруватимуть вібрації. Якщо ці вібрації не будуть ефективно придушені, вони серйозно вплинуть на точність випробувань. Внутрішня структура граніту тісно переплетена з мінеральними кристалами, такими як кварц та польовий шпат. Його унікальна структура наділяє його природною здатністю поглинати вібрації, здатною поглинати понад 90% енергії вібрації обладнання. Фактичні дані вимірювань певного виробника напівпровідників показують, що після використання гранітної основи амплітуда вібрацій обладнання для виявлення зменшилася з 12 мкм до 2 мкм, що ефективно запобігає відхиленню сигналу виявлення, спричиненому вібрацією.
2. Надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення
Під час процесу виявлення такі фактори, як нагрівання обладнання та зміни температури навколишнього середовища, впливатимуть на стабільність основи машини. Звичайні матеріали значно розширюються при нагріванні, але коефіцієнт теплового розширення граніту становить лише 1/5 від коефіцієнта теплового розширення сталі. Навіть якщо температура навколишнього середовища коливається на 10℃, його деформацією можна знехтувати. Це дозволяє гранітній основі забезпечити стабільну опорну платформу для інспекційного обладнання, забезпечуючи постійну точність відносного положення між інспекційним зондом та пластиною та уникаючи помилок інспекції, спричинених тепловою деформацією.
По-друге, точне проектування: структурна оптимізація ще більше підвищує надійність виявлення
Гарантія високої точності обробки та площинності
Високоякісна гранітна основа обробляється за допомогою передової п'ятиосьової технології ЧПК з площинністю ±0,5 мкм/м, що забезпечує надплоску установку для інспекційного обладнання. Під час інспекції пластин вертикальність та рівність інспекційного зонда мають вирішальне значення для результатів інспекції. Високоточна гранітна основа може забезпечити точне позиціонування зонда, що робить дані інспекції більш точними та надійними.
2. Індивідуальна структурна адаптація
Гранітні основи машин можна адаптувати до різного обладнання для неруйнівного контролю пластин та вимог процесу. Наприклад, щоб відповідати вимогам оптичного інспекційного обладнання до відбиття світла, поверхня основи машини може бути спеціально оброблена; щоб відповідати вимогам до встановлення ультразвукового контрольного обладнання, основу можна виготовити заздалегідь з точними монтажними отворами та кабельними лотками, що дозволяє швидко та точно встановити обладнання та зменшити відхилення виявлення, спричинені помилками встановлення.
Iii. Довгострокова стабільність: Зменшення втрати точності, спричиненої технічним обслуговуванням обладнання
Граніт має високу твердість та високу зносостійкість, з твердістю за шкалою Мооса від 6 до 7, що втричі перевищує зносостійкість звичайної сталі. Під час тривалих операцій перевірки поверхня основи машини не схильна до зносу та завжди може підтримувати хороший стан точності. Навпаки, основи, виготовлені з інших матеріалів, можуть спричиняти зміни в монтажних орієнтирах обладнання через знос, що впливає на точність виявлення та вимагає частого калібрування та обслуговування. Тривалий термін служби та висока стабільність гранітної основи ефективно знижують частоту технічного обслуговування обладнання та знижують ризик втрати точності, яка може виникнути під час процесу обслуговування.
Від ударостійкості та термостійкості до точного дизайну, кожна особливість гранітної основи гарантує точність неруйнівного контролю пластин. В сучасну епоху виробництва напівпровідників, яка прагне максимальної точності, вибір високоякісної гранітної основи – це як додавання міцного шару страховки до точності та надійності результатів випробувань.
Час публікації: 18 червня 2025 р.