У галузі виробництва напівпровідників субмікронна точність є ключем до забезпечення продуктивності мікросхем, а гранітна основа (ZHHIMG®) з її властивостями матеріалу, точною обробкою та інноваційним дизайном стала основною гарантією досягнення цієї точності.
З точки зору властивостей матеріалу, чорний граніт, обраний ZHHIMG®, має щільність приблизно 3100 кг/м³ та щільну внутрішню структуру. Ця висока щільність надає йому виняткової стабільності та жорсткості. Під час роботи напівпровідникового обладнання обертання двигунів та рух механічних компонентів всередині обладнання генерують вібрації. Гранітна основа може ефективно поглинати понад 90% енергії вібрації, значно зменшуючи вплив вібрації на точність обладнання. Тим часом, надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення дозволяє йому утримувати свою деформацію в дуже малому діапазоні при коливаннях температури навколишнього середовища, забезпечуючи стабільну опорну основу для напівпровідникового обладнання та запобігаючи зміщенню компонентів обладнання через зміни температури, що може вплинути на точність.
Що стосується обробки та виробництва, завод ZHHIMG® використовує міжнародне передове технологічне обладнання та має чотири надвеликі шліфувальні верстати (кожен коштує понад 500 000 доларів США), які можуть виконувати високоточне шліфування граніту. Завдяки п'ятиосьовій обробці на верстатах з ЧПК та іншим процесам, площинність основи верстата може досягати нанометрового рівня, забезпечуючи надплоску опорну поверхню для встановлення напівпровідникового обладнання та гарантуючи точне позиціонування кожного компонента обладнання. Крім того, цех з постійною температурою та вологістю (площею 10 000 квадратних метрів) забезпечує стабільне середовище для обробки. Антивібраційні траншеї шириною 500 мм та глибиною 2000 мм навколо нього, а також безшумні крани ефективно ізолюють зовнішні вібраційні перешкоди та забезпечують точність обробки основи верстата.
Крім того, ZHHIMG® також має широкі можливості налаштування. Для спеціальних вимог напівпровідникового обладнання можна попередньо виготовити точні монтажні отвори та кабельні лотки, щоб досягти ідеальної сумісності між обладнанням та основою. Водночас, у поєднанні з метрологічним та випробувальним обладнанням світового класу, таким як німецький хвилинний манометр Mahr (з точністю 0,5 мкм) та швейцарський електронний рівень WYLER, основа машини ретельно перевіряється та калібрується, щоб гарантувати, що кожна основа машини може відповідати суворим вимогам напівпровідникового обладнання щодо точності на субмікронному рівні.
Саме поєднання цих переваг робить гранітну основу ZHHIMG® надійним вибором для досягнення субмікронної точності в напівпровідниковому обладнанні, допомагаючи виробництву напівпровідників перейти до галузей вищої точності.
Час публікації: 18 червня 2025 р.