IУ напівпровідниковій промисловості точність обладнання для перевірки пластин має вирішальне значення для забезпечення якості інтегральних схем. Високоточні гранітні основи для машин, такі як ті, що постачаються ZHHIMG®, відіграють життєво важливу роль у підвищенні продуктивності такого обладнання. Ось як вони це роблять.
Виняткова розмірна стабільністьГраніт може похвалитися надзвичайно низьким коефіцієнтом теплового розширення, приблизно (4–8)×10⁻⁶/℃, що значно нижче, ніж у багатьох металів. У жорстко контрольованому середовищі заводів напівпровідників, де навіть незначні коливання температури можуть спричинити похибки вимірювання, основи гранітних машин залишаються стабільними. Ця стабільність гарантує точність розташування компонентів в обладнанні для перевірки пластин, запобігаючи будь-яким відхиленням, викликаним температурою, які можуть вплинути на точність результатів перевірки.
Чудове гасіння вібраційВиробничі підлоги часто заповнені вібраціями з різних джерел. Властивості граніту щодо гасіння вібрацій, з коефіцієнтом демпфування 0,05–0,1, ефективно поглинають і розсіюють ці вібрації. Для інструкцій з використання пластин
Для обробки зображень з високою роздільною здатністю та точних показників датчиків, зменшення вібрацій, що забезпечується гранітними основами, є безцінним. Це мінімізує перешкоди, які можуть розмити зображення або спотворити дані датчиків, що дозволяє обладнанню отримувати чітку та точну інформацію про поверхню та внутрішню структуру пластини.
Висока жорсткість та зносостійкість. Завдяки щільності приблизно 3100 кг/м³, гранітні основи машин ZHHIMG® забезпечують надзвичайну жорсткість. Вони можуть витримувати важкі компоненти обладнання для контролю пластин без деформації, зберігаючи вирівнювання оптичних та механічних систем. Крім того, висока твердість граніту (шкала Мооса 6–7) та чудова зносостійкість забезпечують рівну та гладку поверхню основи машини з часом. Ця стабільність є важливою для довгострокової точності, оскільки будь-який знос або деформація основи можуть поступово погіршити точність обладнання.
Хімічна інертністьВиробництво напівпровідників передбачає вплив різних хімічних речовин. Хімічна інертність граніту робить його стійким до корозії, спричиненої цими речовинами. Ця властивість захищає цілісність основи машини, запобігаючи пошкодженням, спричиненим хімічними речовинами, які можуть вплинути на стабільність і точність контрольно-вимірювального обладнання.
На завершення, високоточні гранітні основи для машин – це не просто компонент, а ключовий фактор для досягнення високих вимог до точності обладнання для перевірки пластин. Вибираючи гранітні основи для машин, обирайте перевірених постачальників, таких як ZHHIMG®. Завдяки численним сертифікатам та відданості якості, ZHHIMG® гарантує, що кожна гранітна основа для машин забезпечує надійність та продуктивність, необхідні для передового виробництва напівпровідників.
Час публікації: 03 червня 2025 р.