Стабільність і точність будь-якої надточної машини — від великих координатно-вимірювальних машин (КВМ) до передового обладнання для напівпровідникової літографії — фундаментально спирається на її гранітний фундамент. Коли йдеться про монолітні основи значного масштабу або складні багатосекційні гранітні плоскі панелі, процес складання та встановлення є таким же важливим, як і сама точність виготовлення. Простого розміщення готової панелі недостатньо; для збереження та використання сертифікованої субмікронної площинності панелі необхідно дотримуватися певних екологічних та структурних вимог.
1. Фундамент: стабільна, рівна основа
Найпоширеніша помилкова думка полягає в тому, що прецизійна гранітна панель, така як виготовлена з нашого чорного граніту ZHHIMG® високої щільності (3100 кг/м³), може виправити нестабільну підлогу. Хоча граніт пропонує виняткову жорсткість, його необхідно підтримувати конструкцією, спроектованою для мінімального довгострокового прогину.
Зона складання повинна мати бетонну основу, яка є не тільки рівною, але й належним чином затверділа, часто відповідно до військових стандартів товщини та щільності, що відображає надтверді бетонні підлоги товщиною 1000 мм у власних складальних цехах ZHHIMG. Найголовніше, що ця основа має бути ізольована від зовнішніх джерел вібрації. У проектуванні наших найбільших машинних баз ми враховуємо такі концепції, як антивібраційний рів навколо наших метрологічних кімнат, щоб забезпечити статичність та ізоляцію самого фундаменту.
2. Ізоляційний шар: затирка та вирівнювання
Прямого контакту між гранітною панеллю та бетонним фундаментом суворо уникають. Гранітну основу необхідно підтримувати у певних, математично розрахованих точках, щоб усунути внутрішню напругу та зберегти її сертифіковану геометрію. Для цього потрібна професійна система вирівнювання та шар затирки.
Після того, як панель точно встановлена за допомогою регульованих вирівнювальних домкратів або клинів, у порожнину між гранітом та основою закачується високоміцний, безусадковий, прецизійний розчин. Цей спеціалізований розчин затвердіває, утворюючи однорідний інтерфейс високої щільності, який постійно рівномірно розподіляє вагу панелі, запобігаючи провисанню або деформації, які в іншому випадку могли б призвести до внутрішнього напруження та погіршення площинності з часом. Цей крок ефективно перетворює гранітну панель та фундамент на єдину, цілісну та жорстку масу.
3. Теплова та часова рівновага
Як і у всіх високоточних метрологічних роботах, терпіння є надзвичайно важливим. Гранітна панель, затирковий матеріал та бетонна основа повинні досягти теплової рівноваги з навколишнім робочим середовищем, перш ніж проводити остаточну перевірку вирівнювання. Цей процес може тривати кілька днів для дуже великих панелей.
Крім того, регулювання нівелювання, яке виконується за допомогою таких інструментів, як лазерні інтерферометри та електронні рівні, має виконуватися повільно, з мінімальними інтервалами, даючи матеріалу час осісти. Наші майстри-техніки, які дотримуються суворих світових метрологічних стандартів (DIN, ASME), розуміють, що поспіх з остаточним нівелюванням може призвести до прихованого напруження, яке проявиться пізніше, коли точність знизиться.
4. Інтеграція компонентів та індивідуальне складання
Для виготовлених на замовлення гранітних компонентів або гранітних плоских панелей ZHHIMG, що містять лінійні двигуни, повітряні підшипники або рейки для КВМ, остаточне складання вимагає абсолютної чистоти. Наші спеціалізовані чисті складальні приміщення, що імітують середовище напівпровідникового обладнання, необхідні, оскільки навіть мікроскопічні частинки пилу, що потрапили між гранітом і металевим компонентом, можуть спричинити мікропрогин. Кожен інтерфейс має бути ретельно очищений та перевірений перед остаточним кріпленням, що гарантує бездоганне перенесення розмірної стабільності компонента в саму машинну систему.
Дотримуючись цих суворих вимог, клієнти гарантують, що вони не просто встановлюють компонент, а успішно визначають кінцеву точку відліку для свого надточного обладнання — основу, гарантовану досвідом ZHHIMG у матеріалознавстві та виробництві.
Час публікації: 29 жовтня 2025 р.