Гранітні ліжка є дуже популярними у виробництві напівпровідникового обладнання завдяки своїм чудовим властивостям, таким як висока розмірна стабільність, висока жорсткість, низьке теплове розширення, хороші демпфувальні властивості та висока стійкість до зносу та стирання. Вони широко використовуються в кількох критично важливих компонентах у виробництві напівпровідникового обладнання, таких як системи контролю пластин, системи вимірювання пластин, системи обробки пластин тощо.
Системи інспекції пластин
Системи інспекції пластин використовують гранітні платформи для забезпечення стабільної та рівної поверхні для інспекції напівпровідникових пластин. Гранітні платформи використовуються як платформа, на якій утримується пластина, що проходить інспекцію. Плоскість та жорсткість гранітної платформи забезпечують точну інспекцію, мінімізуючи пошкодження або забруднення пластини. Гранітні платформи також допомагають зменшити вплив вібрацій навколишнього середовища та інших зовнішніх факторів.
Системи вимірювання пластин
У системах вимірювання пластин точність має вирішальне значення. Гранітні ліжка широко використовуються для цієї мети завдяки їхній чудовій розмірній стабільності. Вони забезпечують жорстку основу для точного вимірювання товщини, форми та характеристик поверхні пластини. Гранітні ліжка також стійкі до зносу та стирання, що робить їх ідеальними для безперервного використання протягом тривалого періоду.
Системи обробки пластин
Гранітні ліжка також використовуються в системах обробки пластин. У цих системах гранітні ліжка використовуються як точний напрямний для позиціонування пластини під час процесу обробки. Висока жорсткість і площинність гранітного ліжка забезпечують точне та повторюване позиціонування пластини, зменшуючи ризик пошкодження.
Інші компоненти
Окрім вищезазначених компонентів, гранітні ліжка також використовуються в інших критично важливих частинах виробництва напівпровідникового обладнання, таких як основи сцен, опорні конструкції та інші високоточні деталі. Висока розмірна стабільність гранітних ліжок допомагає зменшити похибки, спричинені деформацією деталей, температурними змінами та вібрацією.
Висновок
На завершення, гранітні ліжка є критично важливим компонентом у виробництві напівпровідникового обладнання, оскільки вони забезпечують високу розмірну стабільність, низьке теплове розширення та чудову стійкість до зносу та стирання. Вони необхідні для точної, повторюваної та надійної роботи систем контролю пластин, систем вимірювання пластин, систем обробки пластин та іншого високоточного обладнання. Використання гранітних ліжок гарантує, що виробники напівпровідникового обладнання можуть виробляти високоякісну продукцію, яка відповідає суворим стандартам, що вимагаються сучасною напівпровідниковою промисловістю.
Час публікації: 03 квітня 2024 р.