У світі виробництва напівпровідників точне та правильне обладнання є критично важливим для виробництва високоякісних мікросхем. Існує безліч частин виробництва напівпровідників, які повинні використовувати матеріали зі специфічними властивостями для забезпечення надійної та високоточної роботи.
Одним із матеріалів, який став стандартним компонентом напівпровідникового обладнання, є граніт. Відомий своєю міцністю та стабільністю, граніт є чудовим матеріалом для конструювання та виготовлення компонентів, що використовуються в напівпровідниковому обладнанні. Ось деякі деталі напівпровідникового обладнання, в яких зазвичай використовується гранітний матеріал:
1. Опорні плити
Опорні пластини напівпровідникового обладнання повинні бути надзвичайно плоскими та стабільними, щоб мінімізувати вібрації та коливання температури. І граніт є одним з небагатьох матеріалів, які можуть відповідати цим вимогам. Граніт — це розмірно стабільний матеріал, який протистоїть деформації та тепловому розширенню, забезпечуючи збереження площинності опорної пластини з часом.
2. Етапи
Ступінчасті платформи є критично важливими компонентами напівпровідникового обладнання, які виконують точні рухи для виробничих процесів, таких як позиціонування пластин, травлення та осадження. Гранітні платформи широко використовуються в напівпровідниковому обладнанні завдяки їхній високій жорсткості, низькому тепловому розширенню та чудовим демпфуючим властивостям. Завдяки гранітним платформам рухи є точнішими, а обладнання має менший ризик виходу з ладу.
3. Лінійні напрямні
Лінійні напрямні – це механічні пристрої, що забезпечують лінійний рух вздовж двох паралельних рейок. Вони повинні бути надзвичайно стабільними та точними, і граніт є ідеальним матеріалом для цієї мети. Висока жорсткість та демпфіруючі властивості граніту роблять його популярним вибором для лінійних напрямних, що використовуються в напівпровідниковому обладнанні, забезпечуючи стабільність і точність у процесі виробництва.
4. Патрони
Патрони використовуються для утримання та позиціонування пластин під час різних виробничих процесів. Гранітні патрони популярні завдяки своїй площинності та термостабільності. Через низьке теплове розширення граніту, патрони, виготовлені з цього матеріалу, не деформуються та не змінюють розміри під впливом перепадів температури.
5. Інспекційні таблички
Інспекційні пластини використовуються для перевірки якості продукції, що виготовляється в напівпровідниковому обладнанні. Ці пластини повинні бути надзвичайно плоскими та стабільними, а також здатними точно відбивати світло. Висока відбивна здатність граніту, площинність поверхні та стабільність розмірів роблять його популярним вибором для інспекційних пластин у напівпровідниковому обладнанні.
На завершення, гранітні елементи широко використовуються для виготовлення прецизійних деталей у напівпровідниковому обладнанні, і, за прогнозами, їх використання розширюватиметься завдяки їхнім чудовим властивостям. Завдяки високій жорсткості, низькому тепловому розширенню та чудовим демпфуючим властивостям, гранітні елементи забезпечують необхідну стабільність, точність та повторюваність для виконання наномасштабних операцій у напівпровідниковому обладнанні. Компанії, які виробляють високоякісне напівпровідникове обладнання, інвестують у найкращі матеріали, щоб дати своїй продукції найкращі шанси на успіх, і граніт продовжує залишатися популярним матеріалом завдяки своїм чудовим властивостям та надійності.
Час публікації: 19 березня 2024 р.