Гранітні матеріали широко використовуються в напівпровідниковій промисловості завдяки своїм чудовим характеристикам, таким як висока стабільність, низьке теплове розширення та висока стійкість до корозії. Ці властивості роблять граніт ідеальним матеріалом для створення високоточних компонентів у системах перенесення пластин.
У процесі виробництва напівпровідників система передачі пластин відіграє вирішальну роль у транспортуванні пластин на різних етапах виробничого процесу. Точність та правильність є важливими вимогами до цих систем, оскільки навіть незначні відхилення можуть поставити під загрозу весь процес. Тому компоненти системи передачі пластин повинні бути виготовлені з високоякісних матеріалів, і граніт відповідає цим критеріям.
Деякі частини системи перенесення пластин, виготовлені з гранітних матеріалів, включають:
1. Стіл вакуумного патрона
Вакуумний затискний стіл використовується для утримання пластини під час процесу, і він повинен мати стабільну поверхню, щоб запобігти пошкодженню пластини. Граніт є ідеальним матеріалом для виготовлення цього столу, оскільки він має плоску, непористу поверхню, що забезпечує високу стабільність і точність. Крім того, граніт має низький коефіцієнт теплового розширення, що робить його стійким до змін температури, які можуть спричинити зміни розмірів пластини.
2. Стадія повітряного підшипника
Повітряний підшипник використовується для транспортування пластини через різні етапи виробничого процесу. Цей підшипник спроектовано таким чином, щоб забезпечити рух без тертя, що вимагає високої точності та стабільності. Граніт використовується в цьому застосуванні, оскільки це жорсткий і твердий камінь, який стійкий до деформації та зносу з часом.
3. Лінійні напрямні руху
Лінійні напрямні використовуються для керування пневматичною платформою, і вони повинні бути точно розташовані, щоб мінімізувати похибки. Граніт використовується для виготовлення цієї напрямної, оскільки він має чудову механічну стійкість і міцність. Матеріал також стійкий до корозії, що забезпечує довговічність напрямної системи.
4. Метрологічне обладнання
Метрологічне обладнання використовується для вимірювання розмірів та властивостей пластини під час виробничого процесу. Граніт є ідеальним матеріалом для виготовлення цього обладнання, оскільки він має високу жорсткість, низьке розширення та мінімальну деформацію під навантаженням. Крім того, термостабільність граніту гарантує, що метрологічне обладнання залишається стабільним та точним з часом.
На завершення, напівпровідникова промисловість покладається на точність та правильність, а гранітні матеріали довели свою високу надійність та стабільність у процесі виробництва. Оскільки багато критично важливих компонентів у системі перенесення пластин потребують високої стабільності, точності та низького теплового розширення, інженери звернулися до гранітних матеріалів для задоволення цих критичних вимог.
Час публікації: 19 березня 2024 р.