Гранітні матеріали широко використовуються в напівпровідниковій промисловості завдяки своїм чудовим характеристикам, таким як висока стабільність, низьке теплове розширення та висока стійкість до корозії.Ці властивості роблять граніт ідеальним матеріалом для створення високоточних компонентів у системі перенесення пластин.
У процесі виробництва напівпровідників система передачі пластин відіграє вирішальну роль у транспортуванні пластин на різних етапах виробничого процесу.Точність і точність є основними вимогами до цих систем, оскільки навіть незначні відхилення можуть поставити під загрозу весь процес.Тому компоненти в системі перенесення пластин повинні бути виготовлені з високоякісних матеріалів, і граніт відповідає цим критеріям.
Деякі частини системи перенесення пластин, виготовлені з гранітних матеріалів, включають:
1. Вакуумний патронний стіл
Стіл із вакуумним патроном використовується для утримання пластини під час процесу, і він повинен мати стійку поверхню, щоб пластина не була пошкоджена.Граніт є ідеальним матеріалом для виготовлення цього столу, оскільки він має плоску непористу поверхню, яка забезпечує високу стабільність і точність.Крім того, граніт має низький коефіцієнт теплового розширення, що робить його стійким до змін температури, які можуть спричинити зміни розмірів пластини.
2. Повітроносна стадія
Повітроносний етап використовується для транспортування пластини через різні етапи виробничого процесу.Стіна сконструйована для забезпечення руху без тертя, що вимагає високої точності та стабільності.У цьому додатку використовується граніт, оскільки він є твердим і твердим каменем, який стійкий до деформації та зношування з часом.
3. Напрямні лінійного руху
Лінійні напрямні руху використовуються для спрямування столика з повітряним підшипником, і вони повинні бути точно розташовані, щоб мінімізувати помилки.Для виготовлення цього посібника використовується граніт, оскільки він має відмінну механічну стійкість і міцність.Також матеріал стійкий до корозії, що забезпечує довговічність направляючої системи.
4. Метрологічне обладнання
Метрологічне обладнання використовується для вимірювання розмірів і властивостей пластини в процесі виробництва.Граніт є ідеальним матеріалом для виготовлення цього обладнання, оскільки він має високу жорсткість, низьке розширення та мінімальну деформацію під навантаженням.Крім того, термічна стійкість граніту гарантує, що метрологічне обладнання залишається стабільним і точним протягом тривалого часу.
Підсумовуючи, напівпровідникова промисловість покладається на точність і точність, а гранітні матеріали довели свою високу надійність і стабільність у процесі виробництва.Оскільки багато важливих компонентів у системі перенесення пластин вимагають високої стабільності, точності та низького теплового розширення, інженери звернулися до гранітних матеріалів, щоб відповідати цим критичним вимогам.
Час публікації: 19 березня 2024 р