Гранітні матеріали широко використовуються в напівпровідниковій промисловості завдяки їх відмінним характеристикам, такими як висока стабільність, низька термічна розширення та висока стійкість до корозії. Ці властивості роблять граніт ідеальним матеріалом для побудови високоточних компонентів у системі передачі вафель.
У процесі виготовлення напівпровідників система передачі вафель відіграє вирішальну роль у транспорті вафель на різних етапах виробничого процесу. Точність та точність є найважливішими вимогами для цих систем, оскільки навіть незначні відхилення можуть поставити під загрозу весь процес. Тому компоненти в системі передачі вафель повинні бути виготовлені з високоякісних матеріалів, а граніт відповідає цим критеріям.
Деякі частини системи передачі вафель, які виготовлені з гранітних матеріалів, включають:
1. Вакуумний чак
Таблиця вакуумного патрона використовується для утримання пластини під час процесу, і вона повинна мати стабільну поверхню, щоб забезпечити пошкодження пластини. Граніт-це ідеальний матеріал для виготовлення цього столу, оскільки він має рівну, непористу поверхню, яка забезпечує високу стабільність та точність. Крім того, граніт має низький коефіцієнт теплового розширення, що робить його стійким до змін температури, які можуть спричинити розмірні зміни пластини.
2. Етап повітря
Етап, що несуть повітря, використовується для транспортування вафель через різні етапи виробничого процесу. Сцена розроблена для забезпечення без тертя руху, що вимагає високої точності та стабільності. Граніт використовується в цьому додатку, оскільки він є жорстким і твердим каменем, і він протистоїть деформації та зносу з часом.
3. Лінійні посібники з руху
Лінійні посібники з руху використовуються для керівництва етапом, що несуть повітря, і вони повинні бути точно розміщені для мінімізації помилок. Граніт використовується для побудови цього посібника, оскільки він має чудову механічну стабільність та міцність. Матеріал також стійкий до корозії, що забезпечує довговічність системи направлення.
4. Метрологічне обладнання
Метрологічне обладнання використовується для вимірювання розмірів та властивостей пластини під час виробничого процесу. Граніт - ідеальний матеріал для будівництва цього обладнання, оскільки він має високу жорсткість, низьку розширення та мінімальну деформацію під навантаженням. Більше того, теплова стабільність Granite гарантує, що метрологічне обладнання з часом залишається стабільним та точним.
На закінчення, напівпровідникова промисловість покладається на точність та точність, а гранітні матеріали виявились високо надійними та стабільними у виробничому процесі. Маючи багато критичних компонентів у системі передачі вафель, що вимагає високої стабільності, точності та низького теплового розширення, інженери звернулися до гранітних матеріалів для задоволення цих критичних вимог.
Час посади: 19.9-2024