Гранітне ліжко є важливим компонентом у різних напівпровідникових пристроях. Як дуже стійкий і жорсткий матеріал, граніт широко використовується як основа для напівпровідникового обладнання для переробки. Він характеризується його низьким коефіцієнтом теплового розширення, високою стабільністю розмірної та відмінними механічними властивостями. Завдяки цим властивостям гранітне ліжко найчастіше використовується у трьох різних типах напівпровідникових пристроїв - метрологічному обладнанні, літографічному обладнанні та інспекційному обладнанні.
Метрологічне обладнання використовується для вимірювання та виявлення критичних розмірів напівпровідникових пристроїв. Він відіграє вирішальну роль у підтримці якості та узгодженості процесу виготовлення напівпровідників. Метрологічне обладнання включає такі інструменти, як оптичні мікроскопи, електронні мікроскопи та атомні сили (AFMS). Оскільки продуктивність цих вимірювальних приладів залежить від їх стабільності, точності та стійкості до вібрації, граніт є ідеальним вибором для їхнього ліжка. Рівномірність та стабільність гранітного шару забезпечують стабільну платформу для інструментів, що підвищує їх точність та надійність.
Літографічне обладнання використовується для виготовлення мікрочіпів на вафлі. Процес літографії вимагає високого рівня точності та точності для створення складних схем та підвищення продуктивності мікросхем. Літографічне обладнання включає системні та сканерські системи, які використовують світло для перенесення зображень на вафлі. Оскільки процес літографії дуже чутливий до вібрацій та теплових змін, високоякісне ліжко має важливе значення для забезпечення стабільності та повторюваності процесу літографії. Гранітні грядки забезпечують необхідну стабільність та суворі вібраційні демпфування для літографічних систем. Гранітне ліжко дозволяє системі кроку або сканера підтримувати точні просторові відносини, що забезпечують високу точність та якість кінцевої продукції.
Інспекційне обладнання використовується для виявлення будь -яких дефектів на напівпровідникових пристроях. Інспекційне обладнання включає такі системи, як лазерні скануючі мікроскопи, електронні мікроскопи та оптичні мікроскопи. З необхідністю цих пристроїв бути високоточними, стійкими та стійкими до вібрації, гранітні грядки-ідеальний матеріал. Механічні властивості Granite та розмірна стабільність допомагають у вібраційній ізоляції, що підвищує точність виходу обладнання для огляду.
На закінчення, гранітне ліжко має вирішальне значення для напівпровідникової промисловості і широко використовується в різних видах обладнання. Її унікальні властивості, такі як розмірність розмірів, низький коефіцієнт теплового розширення та відмінна механічна стабільність, роблять граніт ідеальним вибором для ліжка матеріалу напівпровідникового обладнання. Оскільки високоякісне гранітне ліжко забезпечує необхідну стійкість, точність та вібраційну стійкість до напівпровідникового обладнання, це в кінцевому підсумку покращує якість кінцевого продукту. Тому використання гранітного ліжка в напівпровідниковому обладнанні, безумовно, триватиме на довгі роки.
Час посади: квітень-03-2024