Гранітне покриття є важливим компонентом у різних напівпровідникових пристроях. Як високостабільний та жорсткий матеріал, граніт широко використовується як основа для обладнання для обробки напівпровідників. Він характеризується низьким коефіцієнтом теплового розширення, високою розмірною стабільністю та чудовими механічними властивостями. Завдяки цим властивостям гранітне покриття найчастіше використовується у трьох різних типах напівпровідникових приладів: метрологічному обладнанні, літографічному обладнанні та інспекційному обладнанні.
Метрологічне обладнання використовується для вимірювання та виявлення критичних розмірів напівпровідникових приладів. Воно відіграє вирішальну роль у підтримці якості та стабільності процесу виробництва напівпровідників. Метрологічне обладнання включає такі прилади, як оптичні мікроскопи, електронні мікроскопи та атомно-силові мікроскопи (АСМ). Оскільки продуктивність цих вимірювальних приладів залежить від їхньої стабільності, точності та вібростійкості, граніт є ідеальним вибором для матеріалу їхньої основи. Однорідність та стабільність гранітної основи забезпечують стабільну платформу для приладів, що підвищує їхню точність та надійність.
Літографічне обладнання використовується для створення малюнків мікрочіпів на пластині. Процес літографії вимагає високого рівня точності та дбайливості для створення складних схем та покращення продуктивності чіпа. Літографічне обладнання включає крокові та скануючі системи, які використовують світло для перенесення зображень на пластину. Оскільки процес літографії дуже чутливий до вібрації та температурних змін, високоякісне ліжко є важливим для забезпечення стабільності та повторюваності процесу літографії. Гранітні ліжко забезпечує необхідну стабільність та суворі характеристики гасіння вібрацій для літографічних систем. Гранітне ліжко дозволяє кроковій або скануючій системі підтримувати точні просторові співвідношення, забезпечуючи високу точність та якість кінцевого продукту.
Інспекційне обладнання використовується для виявлення будь-яких дефектів у напівпровідникових пристроях. Інспекційне обладнання включає такі системи, як лазерні скануючі мікроскопи, електронні мікроскопи та оптичні мікроскопи. Оскільки ці пристрої повинні бути високоточними, стабільними та стійкими до вібрацій, гранітні ліжка є ідеальним матеріалом. Механічні властивості та розмірна стабільність граніту допомагають у віброізоляції, що підвищує точність результатів інспекційного обладнання.
На завершення, гранітне ліжко має вирішальне значення для напівпровідникової промисловості та широко використовується в різних типах обладнання. Його унікальні властивості, такі як стабільність розмірів, низький коефіцієнт теплового розширення та чудова механічна стійкість, роблять граніт ідеальним вибором для матеріалу для напівпровідникового обладнання. Оскільки високоякісне гранітне ліжко забезпечує необхідну стабільність, точність та вібростійкість напівпровідникового обладнання, це зрештою покращує якість кінцевого продукту. Тому використання гранітного ліжка в напівпровідниковому обладнанні, безсумнівно, продовжуватиметься ще багато років.
Час публікації: 03 квітня 2024 р.