Гранітне ложе є важливим компонентом у різних напівпровідникових приладах.Як дуже стабільний і жорсткий матеріал, граніт широко використовується як основа для обладнання для обробки напівпровідників.Він характеризується низьким коефіцієнтом теплового розширення, високою стабільністю розмірів і чудовими механічними властивостями.Завдяки цим властивостям гранітний шар найчастіше використовується в трьох різних типах напівпровідникових приладів - метрологічному обладнанні, літографічному обладнанні та контрольному обладнанні.
Метрологічне обладнання використовується для вимірювання та визначення критичних розмірів напівпровідникових приладів.Він відіграє вирішальну роль у підтримці якості та стабільності процесу виробництва напівпровідників.Метрологічне обладнання включає такі прилади, як оптичні мікроскопи, електронні мікроскопи та атомно-силові мікроскопи (АСМ).Оскільки продуктивність цих вимірювальних приладів залежить від їх стабільності, точності та стійкості до вібрації, граніт є ідеальним вибором для матеріалу для їх ліжка.Однорідність і стійкість гранітного ложа забезпечують стійку платформу для інструментів, що підвищує їх точність і надійність.
Літографічне обладнання використовується для створення візерунків мікрочіпів на пластині.Процес літографії вимагає високого рівня точності для створення складних схем і покращення продуктивності чіпа.Обладнання для літографії включає системи степпера та сканера, які використовують світло для перенесення зображень на пластину.Оскільки процес літографії дуже чутливий до вібрації та температурних змін, високоякісна основа має важливе значення для забезпечення стабільності та повторюваності процесу літографії.Гранітні ліжка забезпечують необхідну стабільність і високу ефективність гасіння вібрації для літографічних систем.Гранітне ложе дозволяє системі степпера або сканера підтримувати точні просторові співвідношення, забезпечуючи високу точність і якість кінцевого продукту.
Інспекційне обладнання використовується для виявлення будь-яких дефектів у напівпровідникових приладах.Інспекційне обладнання включає такі системи, як лазерні скануючі мікроскопи, електронні мікроскопи та оптичні мікроскопи.Оскільки ці пристрої повинні бути високоточними, стабільними та стійкими до вібрацій, гранітні ліжка є ідеальним матеріалом.Механічні властивості та стабільність розмірів граніту сприяють віброізоляції, що підвищує точність виходу контрольного обладнання.
Підсумовуючи, гранітний шар має вирішальне значення для напівпровідникової промисловості та широко використовується в різних типах обладнання.Його унікальні властивості, такі як стабільність розмірів, низький коефіцієнт теплового розширення та чудова механічна стабільність, роблять граніт ідеальним вибором для матеріалу ліжка напівпровідникового обладнання.Оскільки високоякісна гранітна основа забезпечує необхідну стабільність, точність і стійкість до вібрації напівпровідникового обладнання, це в кінцевому підсумку покращує якість кінцевого продукту.Таким чином, використання гранітної ліжка в напівпровідниковому обладнанні, безперечно, продовжуватиметься протягом багатьох років.
Час публікації: 03 квітня 2024 р