Хоча гранітна платформа може здаватися простою кам'яною плитою, критерії вибору кардинально змінюються при переході від звичайного промислового застосування до відповідального оптичного контролю та метрології. Для ZHHIMG® постачання прецизійних компонентів світовим лідерам у галузі напівпровідникових та лазерних технологій означає визнання того, що платформа для оптичних вимірювань – це не просто основа, а невід'ємна, невід'ємна частина самої оптичної системи.
Вимоги до оптичного контролю, які включають отримання зображень з великим збільшенням, лазерне сканування та інтерферометрію, визначаються необхідністю усунення всіх джерел шуму вимірювання. Це призводить до зосередження уваги на трьох особливих властивостях, які відрізняють справжню оптичну платформу від стандартної промислової.
1. Чудова щільність для неперевершеного гасіння вібрацій
Для стандартних промислових баз ЧПК чавун або звичайний граніт можуть забезпечити достатню жорсткість. Однак оптичні установки надзвичайно чутливі до незначних зміщень, спричинених зовнішніми вібраціями від заводського обладнання, систем обробки повітря або навіть віддаленого транспорту.
Саме тут матеріалознавство стає надзвичайно важливим. Оптична платформа вимагає граніту з винятковим власним матеріалом демпфування. ZHHIMG® використовує свій запатентований чорний граніт ZHHIMG® (≈ 3100 кг/м³). Цей матеріал надвисокої щільності, на відміну від граніту нижчої якості або замінників мармуру, має кристалічну структуру, яка дуже ефективно розсіює механічну енергію. Мета полягає не лише у зменшенні вібрації, але й у забезпеченні того, щоб основа залишалася абсолютно тихою механічною підлогою, мінімізуючи відносний рух між об'єктивом та контрольованим зразком на субмікронному рівні.
2. Надзвичайна термостабільність для боротьби з дрейфом
Стандартні промислові платформи допускають незначні зміни розмірів; десята частка градуса Цельсія може не мати значення для свердління. Але в оптичних системах, які виконують точні вимірювання протягом тривалого часу, будь-який тепловий дрейф у геометрії основи вносить систематичну похибку.
Для оптичного контролю платформа повинна виступати в ролі тепловідводу з надзвичайно низьким коефіцієнтом теплового розширення (КТР). Чудова маса та щільність чорного граніту ZHHIMG® забезпечують необхідну теплову інерцію для протистояння незначним розширенням та стисканням, які можуть виникати в приміщенні з контрольованим кліматом. Ця стабільність гарантує, що калібрована фокусна відстань та площинне вирівнювання оптичних компонентів залишаються фіксованими, гарантуючи цілісність вимірювань протягом годин — невід'ємний фактор для контролю пластин високої роздільної здатності або метрології плоских дисплеїв.
3. Досягнення нанорівневої площинності та геометричної точності
Найбільш помітною відмінністю є вимога до площинності. У той час як звичайна промислова основа може відповідати площинності 1-го або 0-го класу (вимірюється в кількох мікронах), оптичні системи вимагають точності в нанометровому діапазоні. Цей рівень геометричної досконалості необхідний для забезпечення надійної опорної площини для лінійних платформ та систем автофокусування, що працюють на принципах інтерференції світла.
Досягнення та сертифікація площинності нанометрового рівня вимагає зовсім іншого виробничого підходу. Це передбачає використання вузькоспеціалізованих методів з використанням передового обладнання, такого як шліфувальні верстати Taiwan Nanter, і підтверджується складним метрологічним обладнанням, таким як лазерні інтерферометри Renishaw. Цей процес повинен відбуватися в надстабільному середовищі, такому як віброзахищені майстерні ZHHIMG® з контрольованим кліматом, де навіть незначні коливання повітря мінімізуються.
По суті, вибір прецизійної гранітної платформи для оптичного контролю – це рішення інвестувати в компонент, який активно гарантує точність самого оптичного вимірювання. Це вимагає партнерства з виробником, який розглядає сертифікацію ISO 9001 та комплексну відстежуваність розмірів не як додаткові функції, а як фундаментальні вимоги для входження у світ надточної оптики.
Час публікації: 21 жовтня 2025 р.