На передовій прецизійного виробництва та наукових досліджень попит на надточне керування рухом зростає з кожним днем. Як ключове обладнання для досягнення високоточних лінійних рухів, продуктивність надточного одноосьового пневматичного модуля безпосередньо впливає на якість кінцевого продукту та точність результатів наукових досліджень. Серед багатьох факторів впливу, застосування гранітної основи надає йому неперевершену перевагу та стає основним елементом для забезпечення відмінної точності.
Після мільйонів років геологічних змін внутрішня структура граніту стала надзвичайно щільною та однорідною. Він складається переважно з кварцу, польового шпату та інших мінералів, що надає йому чудових фізичних властивостей. При використанні як основи для одноосьового надточного модуля руху з повітряним плаванням, граніт демонструє надзвичайно високу стійкість. Порівняно зі звичайними металевими основами, гранітні основи демонструють сильнішу стійкість до деформацій в умовах зовнішніх впливів навколишнього середовища, таких як коливання температури та механічна вібрація. У процесі виробництва електронних мікросхем точність позиціонування літографії мікросхем повинна досягати нанометрового рівня. У виробничому цеху вібрація, що виникає внаслідок роботи великого обладнання, та незначні зміни температури навколишнього середовища можуть впливати на точність руху літографічного обладнання. Одноосьовий надточний модуль руху з повітряним плаванням та гранітною основою може ефективно послаблювати зовнішні вібрації та зменшувати амплітуду вібрацій, що передаються на модуль руху, більш ніж на 80%. Водночас, надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення призводить до того, що розмір основи майже не змінюється при зміні температури, що гарантує, що модуль повітряного плаваючого руху може підтримувати стабільну точність руху в складному середовищі, забезпечуючи точну основу для літографії чіпів та значно підвищуючи продуктивність виробництва чіпів.
Крім того, граніт має добру зносостійкість. У процесі частого зворотно-поступального руху надточного одноосьового модуля повітряного поплавця, хоча між повзунком повітряного поплавця та основою є газова плівка, тривале використання неминуче призведе до певного ступеня тертя. Гранітна основа, завдяки своїм високим характеристикам твердості, може ефективно протистояти зносу, спричиненому цим тертям, та подовжити термін служби модуля руху. У науково-дослідних лабораторіях університетів експериментальне обладнання, що використовується для виявлення мікрочастинок, потребує надточного модуля руху одноосьової повітряної флотації для стабільної роботи протягом тривалого часу, щоб отримати велику кількість точних експериментальних даних. Висока зносостійкість гранітної основи гарантує, що точність модуля руху все ще може підтримуватися на початковому високому рівні точності після тривалого часу використання, забезпечуючи надійну гарантію безперервності та точності науково-дослідної роботи та допомагаючи дослідникам глибоко досліджувати таємниці мікроскопічного світу.
Одноосьовий надточний модуль руху з пневматичним поплавком та гранітною основою є своєрідним точним «навігатором» для прецизійного виробництва та наукових досліджень. Гранітна основа завдяки своїй чудовій стабільності та зносостійкості забезпечує надійну опору для високоточних рухів модуля руху з пневматичним поплавком у виробництві напівпровідників, оптичних приладів, високоякісних наукових дослідженнях та багатьох інших галузях, що потребують точності, відіграє незамінну важливу роль, сприяючи розвитку галузі у напрямку вищої точності та якості.
Час публікації: 07 квітня 2025 р.