Граніт – це тип твердої породи, який став незамінним матеріалом у промисловості виробництва напівпровідників. Його властивості дозволяють йому витримувати високі температури, що робить його ідеальним для використання на різних етапах виробництва напівпровідникових приладів. Як результат, гранітне складання знайшло широке застосування у виробництві напівпровідникових приладів.
Одним із найпоширеніших застосувань складання граніту є виготовлення високоточних верстатів. Жорсткість і стабільність граніту дозволяють виготовляти точні та достовірні інструменти з незначною деформацією або без неї. Такий рівень точності необхідний у процесах виробництва напівпровідників, таких як іонна імплантація, де промінь має бути точно спрямований на пластину.
Ще одне застосування гранітного складання у виробництві напівпровідників – це виготовлення метрологічного обладнання. Метрологічне обладнання є життєво важливим у процесах виробництва напівпровідників, оскільки воно вимірює та перевіряє точність пристроїв, що виготовляються. Стабільність розмірів граніту, низьке теплове розширення та чудові властивості гасіння вібрацій роблять його матеріалом вибору для виготовлення метрологічного обладнання. Це включає великі гранітні поверхні, що використовуються для підготовки та контролю пластин.
Оптичні столи – це ще одна сфера широкого застосування гранітного складання в напівпровідниковій промисловості. Оптичні столи використовуються для тестування оптичних пристроїв, таких як хвилеводи для передачі даних. Плоскість граніту, низьке теплове розширення, висока жорсткість і механічна стійкість дозволяють йому забезпечити дуже стабільну поверхню для монтажу та позиціонування оптики. Гранітні оптичні столи можуть забезпечити стабільність і жорсткість, необхідні для проведення точного та прецизійного тестування оптичних пристроїв.
Граніт також знаходить застосування у виготовленні патронів та платформ для пластин. Під час процесу виробництва напівпровідників точне вирівнювання та контроль положення є вирішальними. Патрони для пластин, які утримують пластини на місці під час обробки, повинні підтримувати точність положення, витримуючи високі температури та вакуумні умови. Граніт має чудову розмірну стабільність у широкому діапазоні температур і може витримувати вакуумні умови, що робить його ідеальним для виготовлення патронів для пластин. Платформи, що використовуються для переміщення пластин з одного положення в інше, проходять циклічну послідовність рухів під час процесу виготовлення напівпровідника. Гранітне складання забезпечує стабільність та довговічність, необхідні для витримування безперервних та повторюваних циклів руху.
Підсумовуючи, застосування гранітного складання у виробництві напівпровідникових приладів є широким. Його властивості, такі як розмірна стабільність, низьке теплове розширення, висока жорсткість та гасіння вібрацій, роблять його ідеальним матеріалом для використання на різних етапах виробництва напівпровідникових приладів. Від виготовлення високоточних верстатів та метрологічного обладнання до оптичних столів, платформ та патронів для пластин, властивості граніту відіграють вирішальну роль у забезпеченні стабільності, точності та повторюваності, необхідних для досягнення високоякісного виробництва напівпровідникових приладів.
Час публікації: 06 грудня 2023 р.