Виробництво напівпровідників: У процесі виробництва мікросхем процес фотолітографії вимагає точного перенесення схеми на пластину. Гранітна основа одноосьового повітряно-плаваючого надточно-пересувного модуля може забезпечити високу точність позиціонування та стабільну підтримку столу для пластин у літографічному обладнанні. Наприклад, ASML та інші всесвітньо відомі виробники літографічних машин використовують повітряно-плаваючі модулі руху на гранітній основі у своєму високоякісному обладнанні, що дозволяє контролювати точність позиціонування пластини на нанометровому рівні, забезпечуючи точність літографічного малюнка, тим самим покращуючи інтеграцію та продуктивність мікросхеми.
Галузь прецизійних вимірювань: КВМ – це прецизійне вимірювальне обладнання, яке зазвичай використовується в промисловому виробництві для вимірювання розміру, форми та точності положення заготовки. Надточний модуль руху одноосьового пневматичного поплавця на гранітній основі може використовуватися як платформа руху КВМ, що дозволяє реалізувати високоточний лінійний рух та забезпечити стабільну траєкторію руху вимірювального зонда. Наприклад, високоякісна КВМ Hexagon використовує цю комбінацію для вимірювання великих та складних деталей з точністю вимірювання до мікронного рівня, забезпечуючи надійну гарантію контролю якості деталей в автомобільній, аерокосмічній та інших галузях промисловості.
Аерокосмічна галузь: При обробці та випробуванні деталей аерокосмічної галузі потрібна висока точність. Наприклад, обробка лопаток авіаційних двигунів вимагає точного контролю траєкторії руху інструменту для забезпечення точності профілю лопаті. Гранітну основу одноосьового надточно-поплавкового модуля руху може бути застосовано до п'ятиосьового обробного центру та іншого обладнання для забезпечення високоточного контролю руху інструменту та гарантії того, що точність обробки лопаті відповідає проектним вимогам. Водночас, у процесі складання авіаційного двигуна також необхідно використовувати високоточне вимірювальне обладнання для визначення точності складання деталей. Повітряно-поплавковий модуль руху гранітної основи може забезпечити стабільну опору та точний рух вимірювального обладнання для забезпечення якості складання.
Галузь оптичного контролю: У процесі виробництва та випробування оптичних компонентів необхідно виконувати високоточне позиціонування та вимірювання оптичних компонентів. Наприклад, під час виробництва високоточних оптичних компонентів, таких як дзеркала та лінзи, необхідно використовувати інтерферометри та інше обладнання для визначення точності форми поверхні. Гранітну основу одноосьового повітряно-плавучого надточно-пересувного модуля можна використовувати як пересувну платформу інтерферометра, що дозволяє реалізувати субмікронну точність позиціонування та забезпечити точну підтримку даних для виявлення оптичних компонентів. Крім того, в обладнанні для лазерної обробки також необхідно використовувати високоточну пересувну платформу для керування траєкторією сканування лазерного променя, гранітна основа повітряно-плавучого модуля може задовольнити цю вимогу для досягнення високоточної лазерної обробки.
Час публікації: 07 квітня 2025 р.