Граніт – це природна гірська порода, яка вже давно використовується в обладнанні для обробки пластин. Він відомий своїми чудовими властивостями низького теплового розширення, високої жорсткості та гарної стабільності. Однак, як і всі матеріали, граніт має свій власний набір дефектів, які можуть впливати на якість обладнання для обробки пластин.
Одним з основних дефектів граніту є його схильність до розтріскування або руйнування. Це пов'язано з наявністю мікротріщин, які можуть виникати під час формування породи. Якщо ці мікротріщини не виявити та не обробити належним чином, вони можуть поширитися та призвести до виходу з ладу обладнання. Щоб запобігти цьому, виробникам обробного обладнання необхідно використовувати високоякісний граніт, який пройшов обробку та випробування на відсутність мікротріщин.
Ще одним недоліком граніту є його схильність до корозії. Якщо гранітне обладнання контактує з агресивним середовищем, воно з часом може почати руйнуватися. Це може призвести до пошкодження обладнання або його неправильної роботи. Щоб запобігти цьому, виробники повинні забезпечити належну обробку та покриття граніту, що використовується в їхньому обладнанні, для запобігання виникненню корозії.
Граніт також схильний до деформації з часом через свої теплові властивості. Це пояснюється тим, що граніт має дуже низький коефіцієнт теплового розширення, а це означає, що він не сильно розширюється і не стискається під впливом змін температури. Однак навіть невелике розширення або стиснення може призвести до деформації обладнання з часом. Важливо, щоб виробник обладнання враховував теплові властивості граніту під час його проектування, щоб запобігти виникненню цього дефекту.
Зрештою, пориста природа граніту може призвести до проблем із забрудненням. Якщо граніт не герметизований належним чином, він може поглинати забруднювачі, які можуть вплинути на якість пластини. Це може призвести до дорогих простоїв та втрат виробництва. Щоб запобігти цьому, виробникам необхідно належним чином герметизувати граніт, щоб запобігти поглинанню будь-яких забруднювачів.
На завершення, граніт – чудовий матеріал для використання в обладнанні для обробки пластин. Однак важливо знати про його недоліки та вживати необхідних запобіжних заходів, щоб запобігти їх виникненню. За належного догляду та обслуговування гранітне обладнання може продовжувати функціонувати протягом багатьох років, забезпечуючи високоякісні пластини для напівпровідникової промисловості.
Час публікації: 27 грудня 2023 р.