У сферах високоякісного виробництва та передових наукових досліджень, прецизійна статична пневматична платформа з плаваючим рухом є ключовим обладнанням для досягнення надточної роботи. Гранітна прецизійна основа є основною опорною частиною платформи, а її продуктивність тісно пов'язана з робочим середовищем. Розуміння та дотримання цих екологічних вимог може не тільки забезпечити високоточну роботу платформи, але й бути важливою частиною підвищення конкурентоспроможності підприємства у суміжних галузях, що детально описано нижче.
1. Температура: точний контроль для забезпечення стабільності розмірів
Хоча граніт відомий своєю стабільністю, його коефіцієнт теплового розширення не дорівнює нулю, і невеликі зміни температури все ще можуть впливати на його точність розмірів. Загалом кажучи, коефіцієнт теплового розширення граніту становить 5-7 ×10⁻⁶/℃. У сценарії застосування прецизійної платформи з плавучим рухом статичного тиску на повітря ця незначна зміна посилюється платформою, що може призвести до відхилення точності руху. Наприклад, у процесі виробництва напівпровідникових мікросхем, процесі літографії, для точності позиціонування на рівні Данамі, коливання температури навколишнього середовища на 1 °C, довжина сторони 1 метр гранітної основи може призвести до лінійного розширення або стиснення на 5-7 мікронів, чого достатньо, щоб відхилити малюнок літографії мікросхеми та зменшити вихід продукції. Тому ідеальна температура робочого середовища для прецизійної платформи з плавучим рухом статичного тиску на повітря, оснащеної прецизійною гранітною основою, повинна суворо контролюватися на рівні 20 °C ± 1 °C. Підприємства можуть встановити високоточну систему кондиціонування повітря з постійною температурою, постійно контролювати та точно регулювати температуру навколишнього середовища, підтримувати стабільність розміру гранітної основи, щоб забезпечити високоточну роботу платформи.
2. вологість: розумний контроль, захист базової продуктивності
Вологість також суттєво впливає на прецизійні гранітні основи. У середовищі з високою вологістю граніт легко поглинає водяну пару, і на поверхні може утворюватися конденсат, що не тільки перешкоджатиме нормальній роботі системи повітряної флотації, але й призведе до тривалої ерозії поверхні граніту, знижуючи її точність та термін служби. Візьмемо, наприклад, цех зі шліфування оптичних лінз: якщо вологість протягом тривалого часу перевищує 60% відносної вологості, водяна пара, адсорбована на поверхні гранітної основи, порушить однорідність плівки повітряної флотації, що призведе до зниження точності шліфування лінз та дефектів поверхні. Тому відносну вологість робочого середовища необхідно контролювати в межах 40-60% відносної вологості. Підприємства можуть використовувати осушувачі повітря, датчики вологості та інше обладнання для моніторингу та контролю вологості в режимі реального часу, створення відповідного середовища вологості для прецизійної гранітної основи та забезпечення стабільної роботи прецизійної платформи з повітряною флотацією під статичним тиском.
3. чистота: суворий контроль, усунення перешкод частинок
Частинки пилу є "ворогом" прецизійної платформи з плавучим рухом під статичним тиском і завдають великої шкоди прецизійній гранітній основі. Як тільки крихітні частинки потрапляють у зазор газової плівки між повзунком газового поплавця та гранітною основою, вони можуть порушити однорідність газової плівки, збільшити тертя і навіть подряпати поверхню основи, серйозно впливаючи на точність руху платформи. У цеху надточної обробки аерокосмічних деталей, якщо частинки пилу з повітря потрапляють на гранітну основу, траєкторія руху обробного інструменту може відхилитися, що вплине на точність обробки деталей. Тому робоча зона повинна бути високо чистою та досягати стандарту чистоти 10 000 або навіть вище. Підприємства можуть фільтрувати частинки пилу в повітрі, встановлюючи високоефективні повітряні фільтри (HEPA), і вимагати від персоналу носіння одягу, що не містить пилу, бахіл тощо, щоб зменшити кількість пилу, що вноситься людьми, і підтримувати високоточне робоче середовище гранітної основи та прецизійної платформи з плавучим рухом під статичним тиском.
4. Вібрація: Ефективна ізоляція для створення гладкого простору
Зовнішня вібрація серйозно заважатиме точності роботи прецизійної пневматичної платформи, що працює під статичним тиском. Хоча прецизійна гранітна основа має певну здатність до гасіння вібрацій, високоміцна вібрація все ж може порушити її буферний ліміт. Вібрація, що виникає внаслідок руху транспорту навколо заводу та роботи великого механічного обладнання, передається на гранітну основу через землю, що заважатиме точності руху платформи. У високоякісних КВМ вібрація може призвести до нестабільності контакту між вимірювальним зондом та заготовкою, що вимірювається, що призведе до відхилення даних вимірювань. Щоб вирішити цю проблему, необхідно вжити ефективних заходів віброізоляції, таких як укладання віброізоляційних прокладок у зоні встановлення обладнання, будівництво віброізоляційного фундаменту або використання активної системи віброізоляції для активного компенсації зовнішньої вібрації та створення тихого та стабільного робочого середовища для гранітної точної основи та прецизійної пневматичної платформи, що працює під статичним тиском.
Дотримання вищезазначених екологічних вимог дозволяє повною мірою реалізувати переваги прецизійної гранітної основи в прецизійній платформі з плаваючим рухом під статичним тиском повітря, що гарантує, що платформа забезпечує високоточні та стабільні послуги керування рухом для різних галузей промисловості. Якщо підприємства зможуть звернути увагу на ці деталі у виробничому середовищі, вони скористаються можливостями у точному виробництві, наукових дослідженнях та інших галузях, підвищать свою конкурентоспроможність та досягнуть сталого розвитку.
Час публікації: 10 квітня 2025 р.