Виробництво напівпровідників
Літографія: Літографія є ключовим процесом у виробництві напівпровідників, який вимагає точного перенесення складних схем на пластини. Прецизійна активна віброізоляційна рухома платформа XYT на гранітній основі може забезпечити стабільну підтримку та точне позиціонування літографічного обладнання, гарантувати, що точність позиціонування столу для пластин у процесі експонування досягає нанометрового рівня, ефективно зменшити відхилення шаблону, спричинені вібрацією та термічною деформацією, а також підвищити точність виробництва та вихід мікросхеми.
Перевірка пластини: Після завершення виробництва пластини її необхідно перевірити з високою точністю на наявність дрібних дефектів та дефектів. Прецизійна активна віброізоляційна рухома платформа XYT може містити обладнання для виявлення, таке як електронно-променевий мікроскоп, атомно-силовий мікроскоп тощо, для підтримки стабільного руху та точного позиціонування під час процесу виявлення, щоб обладнання для виявлення могло точно сканувати поверхню пластини, покращувати роздільну здатність та точність виявлення.
Виробництво оптичних приладів
Шліфування та полірування лінз: У процесі виробництва оптичних лінз необхідно шліфувати та полірувати лінзи з високою точністю для отримання хороших оптичних властивостей. Пересувна платформа з активною віброізоляцією XYT може точно контролювати траєкторію руху шліфувальних та полірувальних інструментів, тоді як гранітна основа може ізолювати зовнішні вібрації, зменшувати їх вплив на точність обробки, забезпечуючи відповідність площинності та обробки поверхні лінзи проектним вимогам.
Збірка оптичної системи: У процесі складання оптичної системи різні оптичні компоненти необхідно точно встановити в певному положенні, щоб забезпечити точне поширення світла та якість зображення. Прецизійна активна віброізоляційна рухома платформа XYT з гранітною основою може забезпечити стабільну платформу для встановлення та регулювання оптичних компонентів, а також досягти високоточної юстування та складання оптичних компонентів завдяки точному керуванню рухом.
аерокосмічна
Випробування інерціальної навігаційної системи: Інерціальна навігаційна система є важливим навігаційним обладнанням в аерокосмічній галузі, а її точність безпосередньо впливає на точність навігації та безпеку польотів літаків. У процесі випробування інерціальної навігаційної системи необхідно використовувати високоточний поворотний стіл для імітації різних станів руху літака. Прецизійна активна віброізоляційна рухома платформа XYT може бути використана як опорна платформа для поворотного столу. Завдяки точному керуванню рухом та хорошим характеристикам віброізоляції, вона забезпечує стабільне та точне рухоме середовище для випробування інерціальної навігаційної системи, а також підвищує точність та надійність випробувань.
Обробка лопатей авіаційного двигуна: Точність обробки лопатей авіаційного двигуна має важливий вплив на продуктивність та ефективність двигуна. Прецизійна платформа руху з активною віброізоляцією XYT може бути застосована до процесу обробки лопатей, наприклад, на п'ятиосьовому обробному центрі, шляхом точного контролю траєкторії руху інструменту та підтримки стабільного середовища обробки, для досягнення високоточної обробки лопатей, щоб забезпечити відповідність точності профілю лопатей та якості поверхні проектним вимогам.
Науково-дослідне тестування
Нанонаукові дослідження: У нанонаукових дослідженнях необхідно працювати та спостерігати за наномасштабними об'єктами, такими як підготовка наноматеріалів та складання нанопристроїв. Гранітна основа прецизійної активної віброізоляційної рухомої платформи XYT може забезпечити субмікронну або навіть нанорівневу точність позиціонування, забезпечити стабільну та точну експериментальну платформу для нанонаукових досліджень та допомогти вченим краще дослідити таємниці наносвіту.
Біомедична візуалізація: У біомедичній галузі, такій як флуоресцентна мікроскопія, конфокальна мікроскопія та інші пристрої візуалізації, для отримання біологічних зображень високої роздільної здатності потрібне точне позиціонування та стабільне зображення зразка. Прецизійна активна віброізоляційна рухома платформа XYT може переносити біологічні зразки, зменшувати вібрацію та дрейф зразків завдяки точному керуванню рухом та хорошим характеристикам віброізоляції, покращувати якість та точність зображення, а також допомагати біомедичним дослідникам проводити поглиблені дослідження клітин, тканин та інших мікроскопічних структур.
Час публікації: 11 квітня 2025 р.