Гранітну основу зазвичай використовують у напівпровідниковому обладнанні завдяки її чудовим властивостям гасіння вібрацій, термостабільності та низькому коефіцієнту теплового розширення. Однак, як і будь-який інший матеріал, граніти можуть мати дефекти, які можуть вплинути на роботу напівпровідникового обладнання. У цій статті ми висвітлимо деякі поширені дефекти гранітної основи в напівпровідниковому обладнанні та запропонуємо рішення.
Несправність №1: Деформації поверхні
Деформації поверхні є найпоширенішими дефектами гранітної основи напівпровідникового обладнання. Коли гранітна основа піддається перепадам температури або великим навантаженням, на ній можуть виникнути поверхневі деформації, такі як викривлення, скручування та нерівності. Ці деформації можуть перешкоджати вирівнюванню та точності напівпровідникового обладнання.
Рішення: Поверхневі корекції
Корекція поверхні може допомогти зменшити деформації поверхні гранітної основи. Процес корекції включає повторне шліфування поверхні гранітної основи для відновлення її площинності та гладкості. Слід приділяти пильну увагу вибору правильного шліфувального інструменту та абразиву, щоб забезпечити точність.
Несправність №2: Тріщини
Тріщини можуть утворюватися в гранітній основі в результаті термоциклування, великих навантажень та помилок обробки. Ці тріщини можуть призвести до структурної нестабільності та суттєво вплинути на точність напівпровідникового обладнання.
Рішення: Заповнення та ремонт
Заповнення та ремонт тріщин може допомогти відновити стабільність та точність гранітної основи. Процес ремонту зазвичай включає заповнення тріщини епоксидною смолою, яка потім затвердіває для відновлення міцності гранітної поверхні. Зв'язану поверхню потім повторно шліфують для відновлення площинності та гладкості.
Несправність №3: Розшарування
Розшарування – це коли шари гранітної основи відокремлюються один від одного, створюючи видимі зазори, повітряні кишені та нерівності на поверхні. Це може виникати внаслідок неправильного склеювання, термоциклування та помилок механічної обробки.
Рішення: Склеювання та ремонт
Процес склеювання та ремонту включає використання епоксидних або полімерних смол для з'єднання відшарованих гранітних секцій. Після склеювання гранітних секцій відремонтовану поверхню повторно шліфують, щоб відновити рівність та гладкість. Склеєний граніт необхідно перевірити на наявність будь-яких залишків щілин та повітряних кишень, щоб переконатися, що гранітна основа повністю відновила свою початкову структурну міцність.
Несправність №4: Знебарвлення та плями
Іноді на гранітній основі можуть з'являтися плями та змінювати колір, такі як коричневі та жовті плями, висоли та темні плями. Це може бути спричинено розливами хімікатів та неадекватними методами очищення.
Рішення: Очищення та обслуговування
Регулярне та належне очищення гранітної основи може запобігти знебарвленню та появі плям. Рекомендується використовувати засоби для чищення з нейтральним або м’яким pH. Процес очищення слід виконувати згідно з інструкціями виробника, щоб уникнути пошкодження гранітної поверхні. У разі стійких плям можна використовувати спеціалізований засіб для чищення граніту.
Підсумовуючи, гранітна основа – це міцний та надійний матеріал, який широко використовується в напівпровідниковому обладнанні. Однак з часом він може виходити з ладу через перепади температури, великі навантаження та помилки обробки. За належного обслуговування, очищення та ремонту гранітну основу можна відновити, забезпечуючи оптимальну роботу напівпровідникового обладнання.
Час публікації: 25 березня 2024 р.