Гранітна основа широко використовується в напівпровідниковому обладнанні завдяки своїм відмінним властивостям поглинання вібрації, термічній стабільності та низькому коефіцієнту теплового розширення.Однак, як і будь-який інший матеріал, граніти можуть мати дефекти, які можуть вплинути на роботу напівпровідникового обладнання.У цій статті ми висвітлимо деякі поширені несправності гранітної основи в напівпровідниковому обладнанні та запропонуємо рішення.
Несправність №1: Деформації поверхні
Поверхневі деформації є найпоширенішими дефектами гранітної основи в напівпровідниковій апаратурі.Коли гранітна основа піддається температурним перепадам або сильним навантаженням, на ній можуть виникнути деформації поверхні, такі як викривлення, скручування та нерівності.Ці деформації можуть заважати вирівнюванню та точності напівпровідникового обладнання.
Рішення: виправлення поверхні
Корекція поверхні може допомогти зменшити деформацію поверхні в гранітній основі.Процес корекції передбачає повторне шліфування поверхні гранітної основи для відновлення її рівності та гладкості.Слід звернути особливу увагу на вибір правильного шліфувального інструменту та абразиву, щоб забезпечити точність.
Несправність №2: Тріщини
Тріщини можуть утворюватися на гранітній основі в результаті термоциклування, великих навантажень і помилок обробки.Ці тріщини можуть призвести до структурної нестабільності та значно вплинути на точність напівпровідникового обладнання.
Рішення: заправка та ремонт
Заповнення та ремонт тріщин може допомогти відновити стабільність і точність гранітної основи.Процес ремонту зазвичай передбачає заповнення тріщини епоксидною смолою, яка потім затвердіє для відновлення міцності гранітної поверхні.Потім склеєна поверхня повторно шліфується для відновлення рівності та гладкості.
Помилка №3: Розшарування
Відшарування — це коли шари гранітної основи відокремлюються один від одного, утворюючи видимі щілини, повітряні кишені та нерівності на поверхні.Це може виникнути через неправильне склеювання, термічні цикли та помилки обробки.
Рішення: склеювання та ремонт
Процес склеювання та ремонту передбачає використання епоксидних або полімерних смол для склеювання відшарованих гранітних секцій.Після склеювання гранітних секцій відремонтовану поверхню потім повторно шліфують, щоб відновити рівність і гладкість.Склеєний граніт необхідно перевірити на наявність будь-яких зазорів і повітряних кишень, щоб переконатися, що гранітна основа повністю відновлена до початкової структурної міцності.
Помилка №4: Знебарвлення та плями
Іноді на гранітній основі можуть виникати зміни кольору та плями, такі як коричневі та жовті плями, висоли та темні плями.Це може бути спричинено розливом хімічних речовин і неналежним очищенням.
Рішення: очищення та технічне обслуговування
Регулярне та належне очищення гранітної основи може запобігти знебарвленню та появі плям.Рекомендується використовувати чистячі засоби з нейтральним або м’яким pH.Щоб не пошкодити гранітну поверхню, процес очищення повинен відбуватися відповідно до інструкцій виробника.У разі стійких плям можна використовувати спеціальний засіб для чищення граніту.
Таким чином, гранітна основа – це міцний і надійний матеріал, який широко використовується в напівпровідниковій техніці.Однак з часом можуть виникнути несправності через зміни температури, великі навантаження та помилки обробки.При належному обслуговуванні, чищенні та ремонті гранітну основу можна відновити, забезпечуючи оптимальну роботу напівпровідникового обладнання.
Час публікації: 25 березня 2024 р