Гранітні компоненти широко використовуються в напівпровідниковому обладнанні завдяки своїй високій стабільності та довговічності. Вони відповідають за підтримку точності та правильності процесів виробництва напівпровідників. Однак ефективність та надійність гранітних компонентів залежать від стандартів та специфікацій, яких дотримуються під час їх проектування, виготовлення та встановлення.
Нижче наведено деякі стандарти та специфікації, яких необхідно дотримуватися під час використання гранітних компонентів у напівпровідниковому обладнанні:
1. Щільність матеріалу: Щільність гранітного матеріалу, що використовується у виробництві гранітних компонентів, повинна бути близько 2,65 г/см3. Це щільність природного гранітного матеріалу, і вона забезпечує стабільність і надійність властивостей гранітних компонентів.
2. Плоскість: Плоскість є однією з найважливіших характеристик для гранітних компонентів, що використовуються в напівпровідниковому обладнанні. Плоскість поверхні граніту повинна бути менше 0,001 мм/м2. Це гарантує, що поверхня компонента є плоскою та рівною, що є важливим для процесів виробництва напівпровідників.
3. Оздоблення поверхні: Оздоблення поверхні гранітних компонентів повинно бути високої якості, з шорсткістю поверхні менше 0,4 мкм. Це забезпечує низький коефіцієнт тертя поверхні гранітного компонента, що є критично важливим для безперебійної роботи напівпровідникового обладнання.
4. Коефіцієнт теплового розширення: Напівпровідникове обладнання працює за різних температур, і гранітні компоненти повинні бути здатними витримувати температурні коливання без деформації. Коефіцієнт теплового розширення граніту, що використовується в напівпровідниковому обладнанні, повинен бути нижче 2 x 10^-6 /°C.
5. Допуск розмірів: Допуск розмірів має вирішальне значення для експлуатаційних характеристик гранітних компонентів. Допуск розмірів гранітних компонентів повинен бути в межах ±0,1 мм для всіх критичних розмірів.
6. Твердість та зносостійкість: Твердість та зносостійкість є важливими характеристиками для гранітних компонентів, що використовуються в напівпровідниковому обладнанні. Граніт має твердість за шкалою Мооса 6-7, що робить його придатним матеріалом для використання в напівпровідниковому обладнанні.
7. Ізоляційні характеристики: Гранітні компоненти, що використовуються в напівпровідниковому обладнанні, повинні мати відмінні ізоляційні характеристики, щоб запобігти пошкодженню чутливих електронних компонентів. Електричний опір повинен бути вище 10^9 Ом/см.
8. Хімічна стійкість: Гранітні компоненти повинні бути стійкими до поширених хімічних речовин, що використовуються в процесах виробництва напівпровідників, таких як кислоти та луги.
На завершення, стандарти та специфікації для гранітних компонентів, що використовуються в напівпровідниковому обладнанні, мають вирішальне значення для забезпечення довговічності та надійності як самих компонентів, так і обладнання, в якому вони використовуються. Вищезазначених рекомендацій слід суворо дотримуватися під час проектування, виготовлення та встановлення, щоб забезпечити найвищу якість компонентів. Дотримуючись цих стандартів та специфікацій, виробники напівпровідників можуть забезпечити оптимальну продуктивність свого обладнання, що призведе до підвищення продуктивності та прибутковості.
Час публікації: 20 березня 2024 р.