Гранітні компоненти широко використовуються в напівпровідниковому обладнанні завдяки високій стабільності та довговічності. Вони несуть відповідальність за підтримку точності та точності виробничих процесів напівпровідників. Однак ефективність та надійність гранітних компонентів залежать від стандартів та технічних характеристик, які підтримуються під час їх проектування, виготовлення та встановлення.
Нижче наведено деякі стандарти та технічні характеристики, до яких слід дотримуватися при використанні гранітних компонентів у напівпровідниковому обладнанні:
1. Щільність матеріалу: щільність гранітного матеріалу, що використовується при виробництві гранітних компонентів, повинна становити близько 2,65 г/см3. Це щільність природного гранітного матеріалу, і він забезпечує послідовність та надійність властивостей гранітних компонентів.
2. Площина: площина - одна з найважливіших специфікацій для гранітних компонентів, що використовуються в напівпровідниковому обладнанні. Площина гранітної поверхні повинна бути нижче 0,001 мм/м2. Це гарантує, що поверхня компонента є рівною і рівною, що є важливим для процесів виготовлення напівпровідників.
3. Поверхнева обробка: поверхнева обробка гранітних компонентів повинна бути високоякісною, з шорсткістю поверхні нижче 0,4 мкм. Це гарантує, що поверхня гранітного компонента має низький коефіцієнт тертя, що є критичним для плавної роботи напівпровідникового обладнання.
. Коефіцієнт теплового розширення граніту, що використовується в напівпровідниковому обладнанні, повинен бути нижче 2 х 10^-6 /° C.
5. розмірна толерантність: розмірна толерантність має вирішальне значення для продуктивності гранітних компонентів. Розмірна толерантність гранітних компонентів повинна бути в межах ± 0,1 мм для всіх критичних розмірів.
6. Твердість і стійкість до зносу: твердість та стійкість до зносу є важливими специфікаціями для гранітних компонентів, що використовуються в напівпровідниковому обладнанні. Граніт має твердість шкали MOHS 6-7, що робить його відповідним матеріалом для використання в застосуванні напівпровідникового обладнання.
7. Зізацька продуктивність: гранітні компоненти, що використовуються в напівпровідниковому обладнанні, повинні мати відмінні показники ізоляції, щоб запобігти пошкодженню чутливих електронних компонентів. Електричний опір повинен бути вище 10^9 Ом/см.
8. Хімічна стійкість: гранітні компоненти повинні бути стійкими до загальних хімічних речовин, що використовуються в процесах виробництва напівпровідників, таких як кислоти та луги.
На закінчення, стандарти та технічні характеристики для гранітних компонентів, що використовуються в напівпровідниковому обладнанні, мають вирішальне значення для забезпечення довговічності та надійності як компонентів, так і обладнання, в якому вони використовуються. Вищезазначені вказівки повинні бути суворо дотримуватися під час проектування, виготовлення та встановлення, щоб забезпечити, щоб компоненти мають найвищу якість. Дотримуючись цих стандартів та технічних характеристик, виробники напівпровідників можуть забезпечити, щоб продуктивність їх обладнання залишалася оптимальною, що призводить до підвищення продуктивності та прибутковості.
Час посади: 20-2024 березня