♦ Алюмінія (al2O3)
Точні керамічні деталі, що виробляються Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (Zhhimg), можуть бути виготовлені з керамічної сировини з високою чистотою, 92 ~ 97% глинозему, 99,5% глинозему,> 99,9% глинозему та CIP-холодного ізостатичного натискання. Високотемпературне спікання та точність обробки, розмірна точність ± 0,001 мм, плавність до Ra0.1, використовуйте температуру до 1600 градусів. Різні кольори кераміки можуть бути зроблені відповідно до вимог клієнтів, таких як: чорний, білий, бежевий, темно -червоний тощо. Точні керамічні деталі, що виробляються нашою компанією, стійкі до високої температури, корозій, зносу та ізоляції, і можуть бути використані протягом тривалого часу у високому температурі, вакуумі та корозійному газовому середовищі.
Широко використовується в різних напівпровідникових виробничих обладнаннях: кадри (керамічна дужка), підкладка (основа), рука/ міст (маніпулятор) ,, механічні компоненти та керамічне підшипник повітря.
Назва товару | Висока чистота 99 Керамічна квадратна трубка / труба / стрижня | |||||
Індекс | Одиниця | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99,5 % AL2O3 | |
Щільність | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3,9 | |
Поглинання води | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Спіка температура | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Твердість | Мох | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Сила згинання (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Міцність на стиск | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Тривала робоча температура | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Макс. Робоча температура | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Об'ємний опір | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Застосування кераміки з високою чистотою:
1, застосований до напівпровідникового обладнання: керамічний вакуумний патрон, різання диска, очисний диск, керамічний патрон.
2. Частини передачі вафель: Пробки для обробки вафель, диски для різання вафель, диски для очищення вафель, присоски оптичних оглядів.
3. Світлодіодні / РК -дисплей плоскої панелі: керамічна насадка, керамічний шліфувальний диск, підйомна шпилька, шпилька.
.
5. Теплостійкі та електрично ізоляційні деталі: керамічні підшипники.
В даний час кераміка оксиду алюмінію можна розділити на високу чистоту та загальну кераміку. Серія керамічної кераміки з високою чистотою стосується керамічного матеріалу, що містить понад 99,9% Al₂o₃. Через температуру його спікання до 1650 - 1990 ° C та довжині хвилі передачі 1 ~ 6 мкм, як правило, переробляється в плавлене скло замість платинової тиглі: яку можна використовувати як трубку натрію через його легку передачу та корозійну стійкість до лужного металу. У галузі електроніки його можна використовувати як високочастотний ізоляційний матеріал для субстратів ІС. Відповідно до різного вмісту оксиду алюмінію, звичайна серія з оксиду оксиду алюмінію може бути розділена на 99 кераміку, 95 кераміку, 90 кераміки та 85 кераміки. Іноді кераміка з 80% або 75% оксиду алюмінію також класифікується як звичайна серія керамічної оксиду алюмінію. Серед них 99 керамічний матеріал оксиду алюмінію використовується для отримання високотемпературної тиглі, вогнезахисної печі та спеціальних матеріалів, стійких до зносу, таких як керамічні підшипники, керамічні ущільнювачі та клапанні пластини. 95 Алюмінієва кераміка в основному використовується як стійка до корозії, стійкі до зносу. 85 Кераміка часто змішується в деяких властивостях, тим самим покращуючи електричну продуктивність та механічну міцність. Він може використовувати молібден, ніобій, тантал та інші металеві ущільнювачі, а деякі використовуються як електричні вакуумні пристрої.
Якісний предмет (репрезентативна вартість) | Назва товару | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22 | AES-23 | AL-31-03 | |
Хімічний склад продукт з низьким вмістом спікання | H₂o | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Хаха | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Наоо | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
Mgo* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Середній діаметр частинок (MT-3300, метод лазерного аналізу) | мкм | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2,2 | 3 | |
α розміром кристалів | мкм | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Формування щільності ** | g/cm³ | 2,22 | 2,22 | 2,2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Щільність спікання ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Скорочення швидкості спікання ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO не включається в розрахунок чистоти Аль₂о₃.
* Немає масштабування порошку 29,4 мПа (300 кг/см²), температура спікання становить 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Додайте 0,05 ~ 0,1% MGO, SINTERAIbility відмінна, тому вона застосовується до кераміки оксиду алюмінію з чистотою понад 99%.
AES-22: характеризується високою щільністю формування та низькою швидкістю скорочення лінії спікання, застосовується для ковзання та інших масштабних продуктів з необхідною розмірною точності.
AES-23 / AES-31-03: Він має більш високу щільність утворення, тиксотропію та меншу в'язкість, ніж AES-22. Перший використовується для кераміки, тоді як другий використовується як редуктор води для вогнезахисних матеріалів, набирає популярності.
♦ Характеристики карбіду кремнію (sic)
Загальні характеристики | Чистота основних компонентів (мас.%) | 97 | |
Забарвлення | Чорний | ||
Щільність (g/см³) | 3.1 | ||
Поглинання води (%) | 0 | ||
Механічні характеристики | Сила згинання (MPA) | 400 | |
Молодий модуль (GPA) | 400 | ||
Вікерс твердість (GPA) | 20 | ||
Теплові характеристики | Максимальна робоча температура (° C) | 1600 | |
Коефіцієнт теплового розширення | Rt ~ 500 ° C | 3,9 | |
(1/° C X 10-6) | Rt ~ 800 ° C | 4.3 | |
Теплопровідність (з/м х К) | 130 110 | ||
Термічний ударний стійкість ΔT (° C) | 300 | ||
Електричні характеристики | Об'ємний опір | 25 ° C | 3 х 106 |
300 ° C | - | ||
500 ° C | - | ||
800 ° C | - | ||
Діелектрична константа | 10 ГГц | - | |
Діелектрична втрата (x 10-4) | - | ||
Q Фактор (x 104) | - | ||
Напруга діелектричної розбиття (кВ/мм) | - |
♦ Кремнієва нітридна кераміка
Матеріал | Одиниця | Si₃n₄ |
Метод спікання | - | Тиск газу здивовано |
Щільність | g/cm³ | 3.22 |
Забарвлення | - | Темно -сірий |
Швидкість поглинання води | % | 0 |
Молодий модуль | GPA | 290 |
Вікерс твердість | GPA | 18 - 20 |
Міцність на стиск | MPA | 2200 |
Сила згинання | MPA | 650 |
Теплопровідність | З/Мк | 25 |
Термічний ударний стійкість | Δ (° C) | 450 - 650 |
Максимальна робоча температура | ° C | 1200 |
Об'ємний опір | Ω · см | > 10 ^ 14 |
Діелектрична константа | - | 8.2 |
Діелектрична сила | KV/мм | 16 |