Надточна гранітна основа для контролю та метрології пластин

1. Передова матеріалознавча наука: чорний граніт ZHHIMG®

На відміну від стандартного граніту або, що ще гірше, мармуру нижчої якості, що використовується менш скрупульозними виробниками, основи ZHHIMG виготовляються виключно з нашого запатентованого чорного граніту ZHHIMG®.

● Виняткова щільність: Наш матеріал може похвалитися вражаючою щільністю ≈ 3100 кг/м³, що перевершує багато звичайних чорних гранітів з Європи та Америки.

● Термічна стабільність: Висока щільність та мінімальне водопоглинання забезпечують чудову розмірну стабільність, значно зменшуючи вплив теплового дрейфу під час критичних циклів контролю.

● Демпфування вібрацій: Природна мінеральна структура забезпечує чудове внутрішнє демпфування, необхідне для ізоляції чутливої ​​оптики та датчиків від зовнішньої вібрації.

2. Неперевершені виробничі та складальні можливості

Наша відданість точності виражена в нашому основному переконанні: «Бізнес точного виробництва не може бути надто вимогливим».

● Майстерність виконання: Наші основи оброблюються вручну майстрами-техніками, багато з яких мають понад 30 років досвіду, і можуть досягти площинності та паралельності поверхні аж до нанометрового рівня — точність підтверджена лазерними інтерферометрами Renishaw та електронними рівнями WYLER.

● Контрольоване середовище: Механічна обробка та остаточне складання проводяться в нашому чистому приміщенні площею 10 000 м² з контрольованою температурою та вологістю (що імітує суворі умови виробництва напівпровідників). Це приміщення має бетонний фундамент товщиною 1000 мм та вібраційні траншеї глибиною 2000 мм, що забезпечує справді стабільне метрологічне середовище.

3. Інтегрована прецизійна конструкція (як показано на зображенні)

Основа зазвичай постачається у вигляді складного вузла, що часто включає:

● L-подібні/портальні конструкції: розроблені для підтримки вертикального руху (по осі Z) головок формування зображення, забезпечуючи ортогональність та геометричну точність.

● Прецизійні канавки та вставки: попередньо оброблені поверхні з різьбовими сталевими вставками та точними отворами для штифтів для монтажу пневматичних підшипників, лінійних двигунів (стіл XY), систем машинного зору та напрямних рейок (THK, HIWIN, Rexroth).

● Індивідуальне виготовлення: Ми спеціалізуємося на великомасштабній обробці та здатні виготовляти монолітні гранітні основи довжиною до 20 м та вагою до 100 тонн, точно адаптовані до вашого обладнання.