Системи гранітних повітряних підшипників широко використовуються внадточнийрухомі платформи для виробництва напівпровідників, оптичного вирівнювання та нанометрової метрології.
Ці системи усувають механічний контакт, використовуючи тонку плівку стисненого повітря, досягаючи майже нульового тертя.
Принцип повітряного підшипника
Повітряні підшипники працюють шляхом подачі стисненого повітря між двома поверхнями, утворюючи повітряну плівку товщиною 2–20 мкм.
Це усуває:
- Механічне тертя
- Носити
- Поведінка стискання-ковзання
Система спирається на динаміку плівки рідини та стабільний ламінарний потік.
Роль граніту
Граніт забезпечує:
- Структурна стабільність
- Придушення теплового дрейфу
- Демпфування вібрацій
Він служить механічною опорною основою для системи руху.
Компоненти системи
- Гранітна основа
- Повітряні підшипникові колодки
- Система подачі повітря
- Прецизійні енкодери
- Система керування рухом
Характеристики продуктивності
Типова продуктивність включає:
- Субмікронна точність позиціонування
- Висока прямолінійність при тривалому ході
- Нульовий механічний люфт
Основні джерела помилок включають нестабільність тиску повітря, тепловий дрейф та помилку енкодера.
Застосування
- Перевірка напівпровідникових пластин
- Літографічні системи
- Платформи оптичного вирівнювання
- Високоякісні метрологічні машини
Найчастіші запитання
Чи зношуються повітряні підшипники?
Відсутність механічного контакту виключає знос.
Чому варто використовувати граніт?
Для стабільності та гасіння вібрацій.
Що обмежує точність?
Стабільність повітря та теплові ефекти.
Чи можуть вони перевозити важкі вантажі?
Так, залежно від дизайну.
Час публікації: 03 липня 2026 р.