Граніт — це твердий і міцний матеріал, який часто використовується в будівельній галузі. Однак він також має властивості, які роблять його корисним у виробництві напівпровідників, зокрема, у виготовленні та обробці інтегральних схем. Гранітні компоненти, такі як гранітні столи та гранітні блоки, широко використовуються завдяки своїй стійкості, площинності та низькому коефіцієнту теплового розширення.
Одним з основних застосувань гранітних компонентів у виробництві напівпровідників є процес виготовлення. Кремнієві пластини, основні будівельні блоки інтегральних схем, потребують виготовлення з високою точністю та акуратністю. Будь-яке викривлення або рух під час процесу може призвести до дефектів, які можуть вплинути на якість та функціональність інтегральних схем. Гранітні столи, завдяки своїй високій стабільності та площинності, забезпечують гарну платформу для обладнання для обробки пластин. Вони також стійкі до теплового розширення та стиснення, спричинених нагріванням та охолодженням, необхідними в процесі.
Гранітні блоки також використовуються в обробці напівпровідників завдяки їхній термостабільності. Під час процесів травлення або осадження гарячі гази або плазма використовуються для модифікації поверхні кремнієвої пластини. Температуру пластини необхідно контролювати, щоб забезпечити ефективне та точне виконання процесу. Гранітні блоки, завдяки низькому коефіцієнту теплового розширення, допомагають стабілізувати температуру пластини, зменшуючи ризик коливань температури, які можуть вплинути на якість обробленого матеріалу.
Окрім процесів виготовлення та обробки, гранітні компоненти також використовуються на етапах метрології та контролю виробництва напівпровідників. Метрологічні вимірювання проводяться для того, щоб забезпечити відповідність розміру, форми та положення структур на пластині необхідним специфікаціям. Гранітні блоки використовуються як еталони в цих вимірюваннях завдяки їхній розмірній стабільності та точності. Вони також використовуються на етапах контролю, де якість інтегральних схем перевіряється під великим збільшенням.
Загалом, використання гранітних компонентів у виробництві напівпровідників зросло за останні роки. Потреба у високій точності, точності та стабільності у виготовленні та обробці інтегральних схем спонукала виробників напівпровідників до впровадження цих матеріалів. Унікальні властивості граніту, такі як його твердість, стабільність та низький коефіцієнт теплового розширення, роблять його чудовим вибором для використання в цих процесах. З подальшим розвитком та вдосконаленням напівпровідникової технології очікується, що використання гранітних компонентів у майбутньому зростатиме.
Час публікації: 05 грудня 2023 р.