Граніт - це жорсткий і міцний матеріал, який часто використовується в будівельній галузі. Однак він також має властивості, які роблять його корисним для виробництва напівпровідників, особливо при виготовленні та обробці інтегрованих схем. Гранітні компоненти, такі як гранітні таблиці та гранітні блоки, широко використовуються для їх стабільності, плоскості та низького коефіцієнта термічного розширення.
Одне з первинних застосувань гранітних компонентів у виробництві напівпровідників знаходиться в процесі виготовлення. Силіконові вафлі, основні будівельні блоки інтегрованих схем, повинні бути виготовлені з високою точністю та точністю. Будь -яке спотворення або рух під час процесу може призвести до дефектів, які можуть впливати на якість та функціональність інтегрованих ланцюгів. Гранітні столи з високою стабільністю та плосістю забезпечують гарну платформу для обладнання для обробки вафель. Вони також стійкі до теплового розширення та скорочення, спричиненого нагріванням та охолодженням, необхідними в процесі.
Гранітні блоки також використовуються для напівпровідникової обробки для їх теплової стійкості. Під час процесів травлення або осадження гарячі гази або плазми використовуються для модифікації поверхні вафлі кремнію. Температуру пластину потрібно контролювати, щоб забезпечити виконання процесу ефективно та точно. Гранітні блоки, з їх низьким коефіцієнтом теплового розширення, допомагають стабілізувати температуру пластини, знижуючи ризик коливань температури, які можуть вплинути на якість обробленого матеріалу.
Окрім процесів виготовлення та обробки, гранітні компоненти також використовуються на стадії метрології та огляду виробництва напівпровідників. Вимірювання метрології проводяться для того, щоб розмір, форма та положення конструкцій на вафлі знаходяться в межах необхідних специфікацій. Гранітні блоки використовуються як еталонні стандарти в цих вимірюваннях через їх розмірну стабільність та точність. Вони також використовуються на стадіях огляду, де якість інтегрованих ланцюгів перевіряється під великим збільшенням.
Загалом, використання гранітних компонентів у виробництві напівпровідників зросло в останні роки. Необхідність високої точності, точності та стабільності у виготовленні та обробці інтегрованих схем спричинила прийняття цих матеріалів виробниками напівпровідників. Унікальні властивості граніту, такі як його твердість, стабільність та низький коефіцієнт теплового розширення, роблять його чудовим вибором для використання в цих процесах. З постійним розвитком та вдосконаленням напівпровідникової технології використання гранітних компонентів, як очікується, зросте в майбутньому.
Час посади: грудень-05-2023