Граніт - твердий і міцний матеріал, який часто використовується в будівельній галузі.Однак він також має властивості, які роблять його корисним у виробництві напівпровідників, зокрема у виготовленні та обробці інтегральних схем.Гранітні компоненти, такі як гранітні столи та гранітні блоки, широко використовуються через їх стабільність, площинність і низький коефіцієнт теплового розширення.
Одним із основних застосувань гранітних компонентів у виробництві напівпровідників є процес виготовлення.Кремнієві пластини, основні будівельні блоки інтегральних схем, потрібно виготовляти з високою точністю.Будь-яке спотворення або рух під час процесу може призвести до дефектів, які можуть вплинути на якість і функціональність інтегральних схем.Гранітні столи з їх високою стійкістю та площинністю є гарною платформою для обладнання для обробки пластин.Вони також стійкі до теплового розширення та звуження, викликаного нагріванням і охолодженням, необхідним у процесі.
Гранітні блоки також використовуються в обробці напівпровідників через їх термічну стійкість.Під час процесів травлення або осадження гарячі гази або плазма використовуються для модифікації поверхні кремнієвої пластини.Необхідно контролювати температуру пластини, щоб забезпечити ефективне та точне виконання процесу.Гранітні блоки з низьким коефіцієнтом теплового розширення допомагають стабілізувати температуру пластини, зменшуючи ризик коливань температури, які можуть вплинути на якість оброблюваного матеріалу.
Окрім процесів виготовлення та обробки, гранітні компоненти також використовуються на стадіях метрології та контролю виробництва напівпровідників.Метрологічні вимірювання проводяться, щоб гарантувати, що розмір, форма та положення структур на пластині відповідають необхідним специфікаціям.Гранітні блоки використовуються як еталони в цих вимірюваннях через їх стабільність розмірів і точність.Вони також використовуються на етапах перевірки, де якість інтегральних схем перевіряється під великим збільшенням.
Загалом використання гранітних компонентів у виробництві напівпровідників зросло за останні роки.Потреба у високій точності, точності та стабільності у виготовленні та обробці інтегральних схем спонукала виробників напівпровідників прийняти ці матеріали.Унікальні властивості граніту, такі як його твердість, стабільність і низький коефіцієнт теплового розширення, роблять його чудовим вибором для використання в цих процесах.З постійним розвитком і вдосконаленням напівпровідникових технологій очікується, що використання гранітних компонентів у майбутньому буде зростати.
Час публікації: 05 грудня 2023 р