Чи є прецизійний граніт найкращим матеріалом для напівпровідникових літографічних компонентів?

Завдяки своїй немагнітній природі, високій жорсткості та майже нульовому тепловому розширенню, прецизійний граніт є важливим матеріалом для забезпечення нанометрової точності в літографії та метрології.

Немагнітна та хімічна стабільність

У високоінтенсивних електромагнітних середовищах виробництва напівпровідників,Гранітні компонентизапобігають перешкодам завдяки своїм немагнітним властивостям. Крім того, граніт хімічно інертний і не виділяє газів та частинок, що робить його ідеальним для чистих приміщень класу ISO 1.

Гранична фізична жорсткість та опір повзучості

Чорний граніт високої щільності, обраний ZHHIMG, забезпечує надзвичайну твердість. При тривалих навантаженнях він практично не демонструє фізичної повзучості, забезпечуючи постійну стабільну основу для XY-платформ та гарантуючи стабільну повторювану точність позиціонування протягом багатьох років експлуатації.

Природна перевага теплового розширення

Напівпровідникові процеси надзвичайно чутливі до тепла. Низький коефіцієнт теплового розширення граніту компенсує тепло, що генерується точними двигунами. У поєднанні з нашою високоточною обробкою це гарантує, що компоненти зберігають свою геометричну цілісність за різних робочих температур.

Гранітні компоненти з високою стійкістю

Матриця продуктивності матеріалів

Нерухомість Чорний граніт (Jinan Black) Передова кераміка Алюмінієвий сплав
Густина (г/см³) 3.07 3,6 – 3,9 2.7
Модуль пружності (ГПа) 95 – 100 300+ 70
Теплове розширення 5,0 – 7,0 (10⁻⁶/К) 4.0 – 8.0 23.0

Найчастіші запитання: Прецизійний граніт

  1. Чому варто обрати «чорний» граніт? Він має вищу щільність, нижче водопоглинання та кращу стійкість, ніж сірий граніт.

  2. Які прецизійні марки ви пропонуєте? Ми виготовляємо за стандартами DIN 876 Grade 000.

  3. Який максимальний розмір? ZHHIMG може обробляти окремі деталі довжиною до 12 метрів.

  4. Як доглядати за гранітними компонентами? Використовуйте спеціалізовані засоби для чищення з нейтральним pH та уникайте контакту з кислотними речовинами.

  5. Чи можете ви свердлити отвори для вставок? Так, ми пропонуємо послуги точного свердління та вторинного склеювання вставок з нержавіючої сталі.

  6. Чи підходить він для використання у вакуумі? Безумовно, натуральний граніт не газує у вакуумних умовах.


Час публікації: 29 травня 2026 р.