Гранітні компоненти широко використовуються у виробництві напівпровідників завдяки своїм чудовим характеристикам, таким як чудова обробка поверхні, висока жорсткість та відмінне гасіння вібрацій. Гранітні компоненти є важливими для обладнання для виготовлення напівпровідників, включаючи літографічні машини, полірувальні машини та метрологічні системи, оскільки вони забезпечують точне позиціонування та стабільність під час виробничого процесу. Незважаючи на всі переваги використання гранітних компонентів, вони також мають дефекти. У цій статті ми обговоримо дефекти гранітних компонентів для продукції, що виготовляється у процесі виробництва напівпровідників.
По-перше, гранітні компоненти мають високий коефіцієнт теплового розширення. Це означає, що вони значно розширюються під впливом термічного навантаження, що може спричинити проблеми під час виробничого процесу. Процес виробництва напівпровідників вимагає високої точності та розмірної точності, які можуть бути порушені через термічне навантаження. Наприклад, деформація кремнієвої пластини внаслідок теплового розширення може спричинити проблеми з вирівнюванням під час літографії, що може погіршити якість напівпровідникового пристрою.
По-друге, гранітні компоненти мають дефекти пористості, які можуть спричинити витік вакууму в процесі виробництва напівпровідників. Наявність повітря або будь-якого іншого газу в системі може призвести до забруднення поверхні пластини, що призведе до дефектів, які можуть вплинути на продуктивність напівпровідникового пристрою. Інертні гази, такі як аргон і гелій, можуть просочуватися в пористі гранітні компоненти та створювати газові бульбашки, які можуть перешкоджати цілісності процесу вакуумування.
По-третє, гранітні компоненти мають мікротріщини, які можуть впливати на точність виробничого процесу. Граніт – це крихкий матеріал, який з часом може розвивати мікротріщини, особливо під час впливу постійних циклів напружень. Наявність мікротріщин може призвести до розмірної нестабільності, що спричиняє значні проблеми під час виробничого процесу, такі як вирівнювання літографії або полірування пластин.
По-четверте, гранітні компоненти мають обмежену гнучкість. Процес виробництва напівпровідників вимагає гнучкого обладнання, яке могло б адаптуватися до різних змін у процесі. Однак гранітні компоненти є жорсткими та не можуть адаптуватися до різних змін у процесі. Тому будь-які зміни у виробничому процесі вимагають видалення або заміни гранітних компонентів, що призводить до простоїв та впливає на продуктивність.
По-п'яте, гранітні компоненти потребують спеціального поводження та транспортування через свою вагу та крихкість. Граніт — це щільний і важкий матеріал, який потребує спеціалізованого вантажно-розвантажувального обладнання, такого як крани та підйомники. Крім того, гранітні компоненти потребують ретельного пакування та транспортування, щоб запобігти пошкодженню під час транспортування, що призводить до додаткових витрат та часу.
На завершення, гранітні компоненти мають деякі недоліки, які можуть вплинути на якість та продуктивність продукції, що виготовляється в процесі виробництва напівпровідників. Ці дефекти можна мінімізувати шляхом ретельного поводження та обслуговування гранітних компонентів, включаючи періодичну перевірку на наявність мікротріщин та дефектів пористості, належне очищення для запобігання забрудненню та ретельне поводження під час транспортування. Незважаючи на дефекти, гранітні компоненти залишаються життєво важливою частиною процесу виробництва напівпровідників завдяки чудовій обробці поверхні, високій жорсткості та чудовому гасінню вібрацій.
Час публікації: 05 грудня 2023 р.