Гранітні компоненти широко використовуються у процесі виробництва напівпровідників завдяки їхнім чудовим характеристикам, таким як чудова обробка поверхні, висока жорсткість і чудове гасіння вібрації.Гранітні компоненти необхідні для обладнання для виготовлення напівпровідників, включаючи літографічні машини, полірувальні машини та метрологічні системи, оскільки вони забезпечують точне позиціонування та стабільність під час виробничого процесу.Незважаючи на всі переваги використання гранітних комплектуючих, вони мають і недоліки.У цій статті ми обговоримо дефекти гранітних компонентів для продуктів процесу виробництва напівпровідників.
По-перше, гранітні компоненти мають високий коефіцієнт теплового розширення.Це означає, що вони значно розширюються під впливом тепла, що може спричинити проблеми під час виробничого процесу.Процес виробництва напівпровідників вимагає високої точності та точності розмірів, які можуть бути порушені через термічну напругу.Наприклад, деформація кремнієвої пластини внаслідок теплового розширення може спричинити проблеми з вирівнюванням під час літографії, що може поставити під загрозу якість напівпровідникового пристрою.
По-друге, гранітні компоненти мають дефекти пористості, які можуть спричинити витік вакууму в процесі виробництва напівпровідників.Наявність повітря або будь-якого іншого газу в системі може спричинити забруднення поверхні пластини, що призведе до дефектів, які можуть вплинути на роботу напівпровідникового пристрою.Інертні гази, такі як аргон і гелій, можуть проникати в пористі гранітні компоненти та створювати бульбашки газу, які можуть заважати цілісності процесу вакуумування.
По-третє, гранітні компоненти мають мікротріщини, які можуть заважати точності виробничого процесу.Граніт є крихким матеріалом, на якому з часом можуть утворюватися мікротріщини, особливо коли він піддається постійним циклам напруги.Наявність мікротріщин може призвести до нестабільності розмірів, спричиняючи значні проблеми під час виробничого процесу, наприклад літографічне вирівнювання або полірування пластин.
По-четверте, гранітні компоненти мають обмежену гнучкість.Процес виробництва напівпровідників вимагає гнучкого обладнання, яке могло б враховувати різні зміни процесу.Однак гранітні компоненти є жорсткими і не можуть адаптуватися до різних змін процесу.Тому будь-які зміни у виробничому процесі вимагають видалення або заміни гранітних компонентів, що призводить до простою та впливає на продуктивність.
По-п'яте, гранітні деталі вимагають спеціального поводження та транспортування через свою вагу та крихкість.Граніт є щільним і важким матеріалом, який потребує спеціального транспортно-розвантажувального обладнання, такого як крани та підйомники.Крім того, гранітні компоненти вимагають ретельного пакування та транспортування, щоб запобігти пошкодженню під час транспортування, що призведе до додаткових витрат і часу.
Підсумовуючи, гранітні компоненти мають деякі недоліки, які можуть вплинути на якість і продуктивність технологічного процесу виробництва напівпровідників.Ці дефекти можна звести до мінімуму шляхом дбайливого поводження з гранітними компонентами та догляду за ними, включаючи періодичну перевірку на наявність мікротріщин і дефектів пористості, належне очищення для запобігання забрудненню та дбайливе поводження під час транспортування.Незважаючи на дефекти, гранітні компоненти залишаються життєво важливою частиною процесу виробництва напівпровідників завдяки чудовій обробці поверхні, високій жорсткості та відмінному гасенню вібрації.
Час публікації: 05 грудня 2023 р