Граніт є популярним матеріалом у галузі обробки пластин завдяки своїм винятковим механічним властивостям та довговічності. Це природний камінь, який видобувається з кар'єрів по всьому світу та використовується протягом століть для різних будівельних цілей, зокрема для виробництва напівпровідникового обладнання. У цій статті ми обговоримо властивості граніту та його різні способи застосування в обладнанні для обробки пластин.
Властивості граніту
Граніт — це магматична порода, що складається зі слюди, польового шпату та кварцу. Він відомий своєю винятковою міцністю, твердістю та довговічністю, що робить його ідеальним матеріалом для застосувань, що вимагають високої точності та акуратності. Граніт має низький коефіцієнт теплового розширення, що означає, що він не розширюється і не стискається через перепади температури, що робить його дуже стабільним. Крім того, граніт стійкий до корозії та хімічних речовин, що робить його ідеальним матеріалом для використання в суворих умовах.
Застосування граніту в обладнанні для обробки пластин
Граніт є широко використовуваним матеріалом у промисловості з обробки пластин завдяки своєму унікальному поєднанню властивостей. Нижче наведено деякі застосування граніту в обладнанні для обробки пластин:
1. Метрологічні інструменти
Граніт зазвичай використовується у виробництві метрологічних інструментів, таких як координатно-вимірювальні машини (КВМ) та оптичні вимірювальні системи. Ці інструменти потребують стабільних поверхонь, які можуть протистояти вібраціям та нагріванню. Висока жорсткість та низьке теплове розширення граніту роблять його ідеальним матеріалом для таких застосувань.
2. Вафельні патрони
Патрони для пластин використовуються для утримання пластин під час виробничого процесу. Ці патрони потребують плоскої та стабільної поверхні, щоб запобігти деформації або згинанню пластини. Граніт забезпечує плоску поверхню, яка є дуже стабільною та стійкою до деформації, що робить його чудовим матеріалом для патронів для пластин.
3. Інструменти для хіміко-механічного полірування (ХМП)
Інструменти CMP використовуються для полірування пластин під час виробничого процесу. Ці інструменти потребують стабільної платформи, яка може протистояти вібраціям та нагріванню. Відмінна жорсткість та низьке теплове розширення граніту роблять його ідеальним матеріалом для інструментів CMP.
4. Обладнання для перевірки пластин
Обладнання для перевірки пластин використовується для перевірки пластин на наявність дефектів та дефектів. Ці інструменти потребують стабільної та рівної поверхні для забезпечення точних вимірювань. Граніт забезпечує стабільну та рівну поверхню, стійку до деформації, що робить його ідеальним матеріалом для обладнання для перевірки пластин.
Висновок
На завершення, граніт є широко використовуваним матеріалом у промисловості з обробки пластин завдяки своїм винятковим механічним властивостям та довговічності. Він зазвичай використовується у виробництві метрологічних інструментів, патронів для пластин, інструментів CMP та обладнання для перевірки пластин. Унікальне поєднання властивостей робить його ідеальним матеріалом для застосувань, що вимагають високої точності та плавності. Завдяки численним перевагам, граніт залишається популярним вибором для обладнання для обробки пластин, і його використання, ймовірно, продовжуватиме зростати в майбутньому.
Час публікації: 27 грудня 2023 р.