Граніт є популярним матеріалом у промисловості обробки пластин завдяки своїм винятковим механічним властивостям і довговічності.Це природний камінь, який видобувають у кар’єрах по всьому світу і століттями використовувався для різних будівельних цілей, у тому числі для виробництва напівпровідникового обладнання.У цій статті ми обговоримо властивості граніту та його різні застосування в обладнанні для обробки пластин.
Властивості граніту
Граніт - це магматична порода, яка складається зі слюди, польового шпату та кварцу.Він відомий своєю винятковою міцністю, твердістю та довговічністю, що робить його ідеальним матеріалом для застосувань, які вимагають високої точності.Граніт має низький коефіцієнт теплового розширення, що означає, що він не розширюється і не стискається через зміни температури, що робить його дуже стабільним.Крім того, граніт стійкий до корозії та хімічних речовин, що робить його ідеальним матеріалом для використання в суворих умовах.
Застосування граніту в обладнанні для обробки пластин
Завдяки унікальному поєднанню властивостей граніт є широко використовуваним матеріалом у промисловості обробки пластин.Нижче наведено деякі із застосувань граніту в обладнанні для обробки пластин:
1. Інструменти метрології
Граніт зазвичай використовується у виробництві метрологічних інструментів, таких як координатно-вимірювальні машини (КІМ) і оптичні вимірювальні системи.Для цих інструментів потрібні стійкі поверхні, які можуть протистояти вібрації та нагріванню.Висока жорсткість і низьке теплове розширення граніту роблять його ідеальним матеріалом для таких застосувань.
2. Вафельні патрони
Вафельні патрони використовуються для утримання пластин під час виробничого процесу.Ці патрони потребують плоскої та стійкої поверхні, щоб запобігти викривленню чи згину пластини.Граніт забезпечує плоску поверхню, яка є дуже стабільною та стійкою до деформації, що робить його чудовим матеріалом для патронів для пластин.
3. Інструменти для хімічного механічного полірування (CMP).
Інструменти CMP використовуються для полірування пластин під час виробничого процесу.Ці інструменти потребують стійкої платформи, яка може протистояти вібрації та нагріванню.Відмінна жорсткість і низьке теплове розширення граніту роблять його ідеальним матеріалом для інструментів CMP.
4. Обладнання для перевірки пластин
Обладнання для контролю пластин використовується для перевірки пластин на наявність дефектів і дефектів.Ці інструменти потребують стійкої та рівної поверхні для забезпечення точних вимірювань.Граніт забезпечує стабільну та рівну поверхню, стійку до викривлення, що робить його ідеальним матеріалом для обладнання для перевірки пластин.
Висновок
Підсумовуючи, граніт є широко використовуваним матеріалом у промисловості обробки пластин завдяки своїм винятковим механічним властивостям і довговічності.Він зазвичай використовується у виробництві метрологічних інструментів, патронів для пластин, інструментів CMP та обладнання для перевірки пластин.Унікальна комбінація властивостей робить його ідеальним матеріалом для застосувань, які вимагають високої точності.Завдяки численним перевагам граніт залишається популярним вибором для обладнання для обробки пластин, і його використання, ймовірно, продовжить зростати в майбутньому.
Час публікації: 27 грудня 2023 р